Barca in grafite ad alta purezza PECVD per pannelli solari
Descrizione
1). Adottato per eliminare la tecnologia delle “lenti colorate”, per garantire l’assenza di “lenti colorate” durante il processo a lungo termine.
2). Realizzato in grafite importata da SGL, caratterizzata da elevata purezza, basso contenuto di impurità e alta resistenza.
3). Utilizzo di ceramica al 99,9% per l'assemblaggio ceramico con elevate prestazioni di resistenza alla corrosione e alla rottura.
4). Utilizzo di apparecchiature di lavorazione di precisione per garantire l'accuratezza di ogni singolo componente.
Specifiche
| Articolo | Tipo | Porta wafer numerico |
| Barca in grafite PECVD — La serie 156 | Barca in grafite 156-13 | 144 |
| Barca in grafite 156-19 | 216 | |
| Barca in grafite 156-21 | 240 | |
| Barca in grafite 156-23 | 308 | |
| Barca in grafite PECVD — La serie 125 | Barca in grafite 125-15 | 196 |
| Barca in grafite 125-19 | 252 | |
| Barca in grafite 125-21 | 280 |




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