Barca in grafite ad alta purezza PECVD per pannelli solari

Breve descrizione:

1). Adottato per eliminare la tecnologia delle “lenti colorate”, per garantire l’assenza di “lenti colorate” durante il processo a lungo termine.
2). Realizzato in grafite importata da SGL, caratterizzata da elevata purezza, basso contenuto di impurità e alta resistenza.
3). Utilizzo di ceramica al 99,9% per l'assemblaggio ceramico con elevate prestazioni di resistenza alla corrosione e alla rottura.
4). Utilizzo di apparecchiature di lavorazione di precisione per garantire l'accuratezza di ogni singolo componente.


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Barca in grafite ad alta purezza PECVD per pannelli solari

 

Descrizione
1). Adottato per eliminare la tecnologia delle “lenti colorate”, per garantire l’assenza di “lenti colorate” durante il processo a lungo termine.
2). Realizzato in grafite importata da SGL, caratterizzata da elevata purezza, basso contenuto di impurità e alta resistenza.
3). Utilizzo di ceramica al 99,9% per l'assemblaggio ceramico con elevate prestazioni di resistenza alla corrosione e alla rottura.
4). Utilizzo di apparecchiature di lavorazione di precisione per garantire l'accuratezza di ogni singolo componente.

Specifiche

Articolo Tipo Porta wafer numerico
Barca in grafite PECVD —
La serie 156
Barca in grafite 156-13 144
Barca in grafite 156-19 216
Barca in grafite 156-21 240
Barca in grafite 156-23 308
Barca in grafite PECVD —
La serie 125
Barca in grafite 125-15 196
Barca in grafite 125-19 252
Barca in grafite 125-21 280

 

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