Staidéar ar an modh rialaithe is fearr maidir le sintéiriú imoibrithe ar charbaíd sileacain

Is ábhar ceirmeach tábhachtach é cairbíd sileacain shintéirithe, a úsáidtear go forleathan i réimsí ardteochta, ardbhrú agus ard-neart. Is céim ríthábhachtach in ullmhú ábhar shintéirithe SIC é sintéiriú imoibríoch SIC. Is féidir le rialú is fearr ar imoibriú shintéirithe SIC cabhrú linn riocht an imoibrithe a rialú agus cáilíocht an táirge a fheabhsú. Pléitear an modh rialaithe is fearr d'imoibriú cairbíd sileacain shintéirithe sa pháipéar seo.

1. Uasmhéadú coinníollacha SIC shintéirithe imoibrithe

Is paraiméadair thábhachtacha iad coinníollacha imoibrithe maidir le himoibriú cairbíd sileacain shintéirithe, lena n-áirítear teocht an imoibrithe, brú an imoibrithe, cóimheas mais an imoibritheora agus am an imoibrithe. Agus na coinníollacha imoibrithe á n-optamú, is gá iad a choigeartú de réir riachtanais shonracha an fheidhmchláir agus an mheicníocht imoibrithe.

(1) Teocht imoibrithe: Tá teocht imoibrithe ar cheann de na príomhfhachtóirí a mbíonn tionchar acu ar luas imoibrithe agus ar cháilíocht an táirge. I raon áirithe, dá airde an teocht imoibrithe, is ea is tapúla an luas imoibrithe, is airde cáilíocht an táirge. Mar sin féin, má bhíonn teocht imoibrithe ró-ard, méadóidh sé na póir agus na scoilteanna sa táirge, rud a théann i bhfeidhm ar cháilíocht an táirge.

(2) Brú imoibrithe: Bíonn tionchar ag brú imoibrithe ar luas imoibrithe agus ar dhlús an táirge freisin. Laistigh de raon áirithe, dá airde an brú imoibrithe, is ea is tapúla an luas imoibrithe agus is airde dlús an táirge. Mar sin féin, is féidir le brú imoibrithe ró-ard níos mó póir agus scoilteanna a chruthú sa táirge freisin.

(3) cóimheas maise an imoibritheora: is fachtóir tábhachtach eile é cóimheas maise an imoibritheora a mbíonn tionchar aige ar luas imoibrithe agus ar cháilíocht an táirge. Nuair a bhíonn an cóimheas maise carbóin le sileacan oiriúnach, beidh tionchar aige ar an ráta imoibrithe agus ar mhais an táirge. Mura bhfuil an cóimheas maise imoibrithe oiriúnach, beidh tionchar aige ar an ráta imoibrithe agus ar mhais an táirge.

(4) Am imoibrithe: Tá am imoibrithe ar cheann de na fachtóirí a mbíonn tionchar acu ar luas imoibrithe agus ar cháilíocht an táirge. Laistigh de raon áirithe, dá faide an t-am imoibrithe, is ea is moille an luas imoibrithe agus is airde cáilíocht an táirge. Mar sin féin, má bhíonn am imoibrithe ró-fhada, méadóidh sé na póir agus na scoilteanna sa táirge, rud a théann i bhfeidhm ar cháilíocht an táirge.

反应烧结碳化硅(2)

2. Rialú próisis ar charbaid sileacain shintéirithe imoibríoch

Le linn imoibriú shintéirithe SIC, is gá an próiseas imoibrithe a rialú. Is é cuspóir an rialaithe cobhsaíocht an imoibrithe agus comhsheasmhacht cháilíocht an táirge a chinntiú. Áirítear le rialú an phróisis imoibrithe rialú teochta, rialú brú, rialú atmaisféir agus rialú cáilíochta imoibrithe.

(1) Rialú teochta: Tá rialú teochta ar cheann de na gnéithe tábhachtacha de rialú an phróisis imoibrithe. Rialú teochta Ba cheart teocht an imoibrithe a rialú chomh beacht agus is féidir chun cobhsaíocht an phróisis imoibrithe agus cáilíocht chomhsheasmhach an táirge a chinntiú. I dtáirgeadh nua-aimseartha, is gnách go n-úsáidtear córas rialaithe ríomhaire chun teocht an imoibrithe a rialú go cruinn.

(2) Rialú brú: Gné thábhachtach eile de rialú an phróisis imoibrithe is ea rialú brú. Trí bhrú an imoibrithe a rialú, is féidir cobhsaíocht an phróisis imoibrithe agus comhsheasmhacht cháilíocht an táirge a chinntiú. I dtáirgeadh nua-aimseartha, is gnách go n-úsáidtear córas rialaithe ríomhaire chun brú an imoibrithe a rialú go cruinn.

(3) Rialú atmaisféir: Tagraíonn rialú atmaisféir d’úsáid atmaisféir shonraigh (amhail atmaisféar támh) sa phróiseas imoibrithe chun an próiseas imoibrithe a rialú. Trí rialú an atmaisféir, is féidir cobhsaíocht an phróisis imoibrithe agus comhsheasmhacht cháilíocht an táirge a chinntiú. I dtáirgeadh nua-aimseartha, is gnách go n-úsáidtear córas rialaithe ríomhaire chun an t-atmaisféar a rialú.

(4) Rialú cáilíochta imoibrithe: Tá rialú cáilíochta imoibrithe ar cheann de na gnéithe tábhachtacha chun cobhsaíocht an phróisis imoibrithe agus comhsheasmhacht cháilíocht an táirge a chinntiú. Trí cháilíocht na n-imoibrithe a rialú, is féidir cobhsaíocht an phróisis imoibrithe agus comhsheasmhacht cháilíocht an táirge a chinntiú. I dtáirgeadh nua-aimseartha, is gnách go n-úsáidtear córas rialaithe ríomhaire chun cáilíocht na n-imoibrithe a rialú.

Is céim ríthábhachtach í an rialú is fearr ar shiliceán cairbíde sintéaraithe imoibríoch chun ábhair shiliceán sintéaraithe ardchaighdeáin a ullmhú. Trí dhálaí imoibrithe a bharrfheabhsú, an próiseas imoibrithe a rialú agus táirgí imoibrithe a mhonatóiriú, is féidir cobhsaíocht an phróisis imoibrithe agus comhsheasmhacht cháilíocht an táirge a chinntiú. I bhfeidhm phraiticiúil, ní mór imoibriú charbíde sileacain sintéaraithe a choigeartú de réir cásanna sonracha feidhmchláir chun freastal ar riachtanais éagsúla feidhmchláir.


Am an phoist: 05 Meitheamh 2023
Comhrá Ar Líne WhatsApp!