ຊິລິກອນຄາໄບຣດ໌ທີ່ລະລາຍແລ້ວເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ສຳຄັນ, ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງສູງ. ການລະລາຍ SIC ດ້ວຍປະຕິກິລິຍາແມ່ນຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນໃນການກະກຽມວັດສະດຸ SIC ທີ່ລະລາຍແລ້ວ. ການຄວບຄຸມທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງປະຕິກິລິຍາ SIC ທີ່ລະລາຍແລ້ວສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາຄວບຄຸມສະພາບປະຕິກິລິຍາ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ວິທີການຄວບຄຸມທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງປະຕິກິລິຍາຊິລິກອນຄາໄບຣດ໌ທີ່ລະລາຍແລ້ວໄດ້ຖືກກ່າວເຖິງໃນເອກະສານນີ້.
1. ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງເງື່ອນໄຂ SIC ຂອງການເຜົາຜະນຶກປະຕິກິລິຍາ
ເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາແມ່ນຕົວກໍານົດທີ່ສໍາຄັນຂອງປະຕິກິລິຍາຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ທີ່ຖືກຊິນເຕີ, ລວມທັງອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາ, ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາ, ອັດຕາສ່ວນມວນສານຕົວຕັ້ງຕົວຕີ ແລະ ເວລາປະຕິກິລິຍາ. ເມື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງປັບຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງການນໍາໃຊ້ສະເພາະ ແລະ ກົນໄກປະຕິກິລິຍາ.
(1) ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາ: ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາແມ່ນໜຶ່ງໃນປັດໄຈສຳຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ໃນລະດັບໃດໜຶ່ງ, ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາສູງເທົ່າໃດ, ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາກໍ່ຍິ່ງໄວເທົ່ານັ້ນ, ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາສູງເກີນໄປຈະນໍາໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຮູຂຸມຂົນ ແລະ ຮອຍແຕກໃນຜະລິດຕະພັນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.
(2) ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາ: ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາຍັງມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຜະລິດຕະພັນ. ພາຍໃນຊ່ວງໃດໜຶ່ງ, ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາສູງເທົ່າໃດ, ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາກໍ່ຈະໄວຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາສູງເກີນໄປຍັງສາມາດນຳໄປສູ່ຮູຂຸມຂົນ ແລະ ຮອຍແຕກຫຼາຍຂຶ້ນໃນຜະລິດຕະພັນ.
(3) ອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ: ອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນເປັນອີກປັດໄຈໜຶ່ງທີ່ສຳຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ເມື່ອອັດຕາສ່ວນມວນສານຄາບອນຕໍ່ຊິລິກອນເໝາະສົມ, ອັດຕາການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ມວນສານຜະລິດຕະພັນຈະເກີດຂຶ້ນ. ຖ້າອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນບໍ່ເໝາະສົມ, ມັນຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ອັດຕາການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ມວນສານຜະລິດຕະພັນ.
(4) ເວລາປະຕິກິລິຍາ: ເວລາປະຕິກິລິຍາແມ່ນໜຶ່ງໃນປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ພາຍໃນໄລຍະເວລາໃດໜຶ່ງ, ເວລາປະຕິກິລິຍາຍິ່ງຍາວເທົ່າໃດ, ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາກໍ່ຈະຊ້າລົງ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເວລາປະຕິກິລິຍາທີ່ຍາວເກີນໄປຈະນໍາໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຮູຂຸມຂົນ ແລະ ຮອຍແຕກໃນຜະລິດຕະພັນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.
2. ການຄວບຄຸມຂະບວນການຂອງຊິລິກອນຄາໄບຣການເຜົາຜະນຶກທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ
ໃນຂະບວນການຂອງການເຜົາປະຕິກິລິຍາ SIC, ມັນຈຳເປັນຕ້ອງຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ຈຸດປະສົງຂອງການຄວບຄຸມແມ່ນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາປະກອບມີການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ການຄວບຄຸມຄວາມດັນ, ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດ ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ.
(1) ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນໜຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ສຳຄັນຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາຄວນໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງແນ່ນອນທີ່ສຸດເທົ່າທີ່ຈະເປັນໄປໄດ້ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນທີ່ສອດຄ່ອງ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາຢ່າງຖືກຕ້ອງ.
(2) ການຄວບຄຸມຄວາມດັນ: ການຄວບຄຸມຄວາມດັນແມ່ນລັກສະນະສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ໂດຍການຄວບຄຸມຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາຢ່າງຖືກຕ້ອງ.
(3) ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດ: ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດໝາຍເຖິງການນຳໃຊ້ບັນຍາກາດສະເພາະ (ເຊັ່ນ: ບັນຍາກາດທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ) ໃນຂະບວນການປະຕິກິລິຍາເພື່ອຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ໂດຍການຄວບຄຸມບັນຍາກາດ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມບັນຍາກາດ.
(4) ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ: ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນແມ່ນໜຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ສຳຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໂດຍການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ.
ການຄວບຄຸມທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງ SIC ທີ່ມີການເຜົາຜະນຶກທີ່ມີປະຕິກິລິຍາແມ່ນຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນໃນການກະກຽມວັດສະດຸ SIC ທີ່ຖືກເຜົາຜະນຶກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ໂດຍການປັບປຸງເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາ, ການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຜະລິດຕະພັນປະຕິກິລິຍາ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ, ປະຕິກິລິຍາຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຖືກເຜົາຜະນຶກຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ປັບຕາມສະຖານະການການນຳໃຊ້ສະເພາະເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການນຳໃຊ້ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ເວລາໂພສ: ມິຖຸນາ-05-2023