சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு என்பது ஒரு முக்கியமான பீங்கான் பொருளாகும், இது அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம் மற்றும் அதிக வலிமை புலங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சின்டர்டு SIC பொருட்களை தயாரிப்பதில் SIC இன் வினைத்திறன் சின்டரிங் ஒரு முக்கிய படியாகும். சின்டர்டு SIC வினையின் உகந்த கட்டுப்பாடு எதிர்வினை நிலையைக் கட்டுப்படுத்தவும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்தவும் உதவும். சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு வினையின் உகந்த கட்டுப்பாட்டு முறை இந்த ஆய்வறிக்கையில் விவாதிக்கப்படுகிறது.
1. எதிர்வினை சின்டரிங் SIC நிலைமைகளை மேம்படுத்துதல்
எதிர்வினை நிலைமைகள் என்பது சின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு வினையின் முக்கியமான அளவுருக்கள் ஆகும், இதில் எதிர்வினை வெப்பநிலை, எதிர்வினை அழுத்தம், வினை நிறை விகிதம் மற்றும் வினை நேரம் ஆகியவை அடங்கும். வினை நிலைமைகளை மேம்படுத்தும்போது, குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுத் தேவைகள் மற்றும் வினை பொறிமுறைக்கு ஏற்ப சரிசெய்தல் அவசியம்.
(1) எதிர்வினை வெப்பநிலை: எதிர்வினை வெப்பநிலை என்பது எதிர்வினை வேகத்தையும் தயாரிப்பு தரத்தையும் பாதிக்கும் முக்கிய காரணிகளில் ஒன்றாகும். ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பில், அதிக எதிர்வினை வெப்பநிலை, வேகமான எதிர்வினை வேகம், தயாரிப்பு தரம் அதிகமாகும். இருப்பினும், மிக அதிக எதிர்வினை வெப்பநிலை தயாரிப்பில் துளைகள் மற்றும் விரிசல்களை அதிகரிக்க வழிவகுக்கும், இது தயாரிப்பின் தரத்தை பாதிக்கும்.
(2) எதிர்வினை அழுத்தம்: எதிர்வினை அழுத்தம் எதிர்வினை வேகம் மற்றும் தயாரிப்பு அடர்த்தியிலும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பிற்குள், எதிர்வினை அழுத்தம் அதிகமாக இருந்தால், எதிர்வினை வேகம் வேகமாகவும் தயாரிப்பு அடர்த்தி அதிகமாகவும் இருக்கும். இருப்பினும், மிக அதிக எதிர்வினை அழுத்தம் உற்பத்தியில் அதிக துளைகள் மற்றும் விரிசல்களுக்கு வழிவகுக்கும்.
(3) வினைபடு நிறை விகிதம்: வினைபடு நிறை விகிதம் என்பது வினைபடு வேகத்தையும் தயாரிப்பு தரத்தையும் பாதிக்கும் மற்றொரு முக்கியமான காரணியாகும். கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் நிறை விகிதம் பொருத்தமானதாக இருக்கும்போது, வினைபடு வீதமும் தயாரிப்பு நிறைம். வினைபடு நிறை விகிதம் பொருத்தமானதாக இல்லாவிட்டால், அது வினைபடு வீதத்தையும் தயாரிப்பு நிறைவையும் பாதிக்கும்.
(4) எதிர்வினை நேரம்: எதிர்வினை நேரம் என்பது எதிர்வினை வேகத்தையும் தயாரிப்பு தரத்தையும் பாதிக்கும் காரணிகளில் ஒன்றாகும். ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பிற்குள், எதிர்வினை நேரம் அதிகமாக இருந்தால், எதிர்வினை வேகம் மெதுவாகவும் தயாரிப்பு தரம் அதிகமாகவும் இருக்கும். இருப்பினும், மிக நீண்ட எதிர்வினை நேரம் தயாரிப்பில் துளைகள் மற்றும் விரிசல்களை அதிகரிக்க வழிவகுக்கும், இது தயாரிப்பின் தரத்தை பாதிக்கும்.
2. எதிர்வினை சின்டரிங் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் செயல்முறை கட்டுப்பாடு
SIC வினையை சின்டரிங் செய்யும் செயல்பாட்டில், வினை செயல்முறையை கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். கட்டுப்பாட்டின் நோக்கம் வினையின் நிலைத்தன்மையையும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்வதாகும். வினை செயல்முறை கட்டுப்பாட்டில் வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, அழுத்தக் கட்டுப்பாடு, வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு மற்றும் வினைபடு பொருளின் தரக் கட்டுப்பாடு ஆகியவை அடங்கும்.
(1) வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு என்பது எதிர்வினை செயல்முறை கட்டுப்பாட்டின் முக்கியமான அம்சங்களில் ஒன்றாகும். வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு எதிர்வினை செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் நிலையான தயாரிப்பு தரத்தையும் உறுதி செய்ய எதிர்வினை வெப்பநிலையை முடிந்தவரை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த வேண்டும். நவீன உற்பத்தியில், கணினி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பொதுவாக எதிர்வினை வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப் பயன்படுகிறது.
(2) அழுத்தக் கட்டுப்பாடு: அழுத்தக் கட்டுப்பாடு என்பது எதிர்வினை செயல்முறை கட்டுப்பாட்டின் மற்றொரு முக்கிய அம்சமாகும். எதிர்வினை அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், எதிர்வினை செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்ய முடியும். நவீன உற்பத்தியில், கணினி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பொதுவாக எதிர்வினை அழுத்தத்தை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தப் பயன்படுகிறது.
(3) வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு: வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு என்பது எதிர்வினைச் செயல்பாட்டில் குறிப்பிட்ட வளிமண்டலத்தை (மந்த வளிமண்டலம் போன்றவை) பயன்படுத்தி எதிர்வினைச் செயல்முறையைக் கட்டுப்படுத்துவதைக் குறிக்கிறது. வளிமண்டலத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், எதிர்வினைச் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்ய முடியும். நவீன உற்பத்தியில், கணினி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பொதுவாக வளிமண்டலத்தைக் கட்டுப்படுத்தப் பயன்படுகிறது.
(4) வினைத்திறன் தரக் கட்டுப்பாடு: வினைத்திறன் தரக் கட்டுப்பாடு என்பது வினைத்திறன் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்வதற்கான முக்கியமான அம்சங்களில் ஒன்றாகும். வினைத்திறன் தரக் கட்டுப்பாடு மூலம், வினைத்திறன் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்ய முடியும். நவீன உற்பத்தியில், கணினி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பொதுவாக வினைத்திறன் தரத்தைக் கட்டுப்படுத்தப் பயன்படுகிறது.
உயர்தர சின்டர் செய்யப்பட்ட SIC பொருட்களை தயாரிப்பதற்கு எதிர்வினை சின்டர் செய்யப்பட்ட SIC இன் உகந்த கட்டுப்பாடு ஒரு முக்கிய படியாகும். எதிர்வினை நிலைமைகளை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், எதிர்வினை செயல்முறையை கட்டுப்படுத்துவதன் மூலமும், எதிர்வினை தயாரிப்புகளை கண்காணிப்பதன் மூலமும், எதிர்வினை செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்ய முடியும். நடைமுறை பயன்பாட்டில், வெவ்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகளுக்கு ஏற்ப சின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடின் எதிர்வினை சரிசெய்யப்பட வேண்டும்.
இடுகை நேரம்: ஜூன்-05-2023