Шаталсан цахиурын карбид нь өндөр температур, өндөр даралт, өндөр бат бэхийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг чухал керамик материал юм. SIC-ийг реактив шатаах нь шатсан SIC материалыг бэлтгэх гол алхам юм. Шаталсан SIC урвалын оновчтой хяналт нь урвалын нөхцөл байдлыг хянах, бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулахад тусалдаг. Шатсан цахиурын карбидын урвалын оновчтой хяналтын аргыг энэхүү өгүүлэлд авч үзсэн болно.
1. Урвалын синтеризацийн SIC нөхцлийг оновчтой болгох
Урвалын нөхцөл нь урвалын температур, урвалын даралт, урвалжийн массын харьцаа болон урвалын хугацаа зэрэг шатаасан цахиурын карбидын урвалын чухал параметрүүд юм. Урвалын нөхцлийг оновчтой болгохдоо тодорхой хэрэглээний шаардлага болон урвалын механизмын дагуу тохируулах шаардлагатай.
(1) Урвалын температур: Урвалын температур нь урвалын хурд болон бүтээгдэхүүний чанарт нөлөөлдөг гол хүчин зүйлсийн нэг юм. Тодорхой хязгаарт урвалын температур өндөр байх тусам урвалын хурд хурдан байх тусам бүтээгдэхүүний чанар өндөр байдаг. Гэсэн хэдий ч урвалын температур хэт өндөр байх нь бүтээгдэхүүний нүх сүв, ан цав үүсэхэд хүргэж, бүтээгдэхүүний чанарт нөлөөлнө.
(2) Урвалын даралт: Урвалын даралт нь урвалын хурд болон бүтээгдэхүүний нягтралд нөлөөлдөг. Тодорхой хязгаарт урвалын даралт өндөр байх тусам урвалын хурд хурдан бөгөөд бүтээгдэхүүний нягтрал өндөр байдаг. Гэсэн хэдий ч хэт өндөр урвалын даралт нь бүтээгдэхүүнд илүү их нүх сүв, хагарал үүсгэдэг.
(3) Урвалжийн массын харьцаа: Урвалжийн массын харьцаа нь урвалын хурд болон бүтээгдэхүүний чанарт нөлөөлдөг бас нэг чухал хүчин зүйл юм. Нүүрстөрөгч ба цахиурын массын харьцаа тохиромжтой үед урвалын хурд болон бүтээгдэхүүний масс. Хэрэв урвалжийн массын харьцаа тохирохгүй бол энэ нь урвалын хурд болон бүтээгдэхүүний массад нөлөөлнө.
(4) Урвалын хугацаа: Урвалын хугацаа нь урвалын хурд болон бүтээгдэхүүний чанарт нөлөөлдөг хүчин зүйлсийн нэг юм. Тодорхой хязгаарт урвалын хугацаа урт байх тусам урвалын хурд удаан, бүтээгдэхүүний чанар өндөр байдаг. Гэсэн хэдий ч урвалын хугацаа хэт урт байх нь бүтээгдэхүүний нүх сүв, ан цавыг ихэсгэж, бүтээгдэхүүний чанарт нөлөөлнө.
2. Реактив хайлуулах цахиурын карбидын процессын хяналт
SIC урвалын шаталтын явцад урвалын процессыг хянах шаардлагатай. Хяналтын зорилго нь урвалын тогтвортой байдал болон бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангах явдал юм. Урвалын процессын хяналтад температурын хяналт, даралтын хяналт, агаар мандлын хяналт болон урвалжийн чанарын хяналт орно.
(1) Температурын хяналт: Температурын хяналт нь урвалын процессын хяналтын чухал талуудын нэг юм. Температурын хяналт Урвалын процессын тогтвортой байдал, бүтээгдэхүүний чанарыг тогтвортой байлгахын тулд урвалын температурыг аль болох нарийвчлалтай хянах хэрэгтэй. Орчин үеийн үйлдвэрлэлд урвалын температурыг нарийн хянахын тулд компьютерын хяналтын системийг ихэвчлэн ашигладаг.
(2) Даралтын хяналт: Даралтын хяналт нь урвалын процессын хяналтын бас нэг чухал тал юм. Урвалын даралтыг хянаснаар урвалын процессын тогтвортой байдал болон бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангаж чадна. Орчин үеийн үйлдвэрлэлд урвалын даралтыг нарийн хянахын тулд компьютерын хяналтын системийг ихэвчлэн ашигладаг.
(3) Агаар мандлын хяналт: Агаар мандлын хяналт гэдэг нь урвалын процессыг хянахын тулд урвалын процесст тодорхой агаар мандал (жишээлбэл, идэвхгүй агаар мандал) ашиглахыг хэлнэ. Агаар мандлыг хянаснаар урвалын процессын тогтвортой байдал болон бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангаж чадна. Орчин үеийн үйлдвэрлэлд агаар мандлыг хянахын тулд ихэвчлэн компьютерийн хяналтын системийг ашигладаг.
(4) Урвалжийн чанарын хяналт: Урвалжийн чанарын хяналт нь урвалын процессын тогтвортой байдал болон бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангах чухал талуудын нэг юм. Урвалжийн чанарыг хянаснаар урвалын процессын тогтвортой байдал болон бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангаж чадна. Орчин үеийн үйлдвэрлэлд урвалжийн чанарыг хянахын тулд ихэвчлэн компьютерийн хяналтын системийг ашигладаг.
Урвалын нөхцөлд шатаасан SIC материалыг бэлтгэх гол алхам бол урвалд орох шатаасан SIC-ийг оновчтой хянах явдал юм. Урвалын нөхцлийг оновчтой болгох, урвалын процессыг хянах, урвалын бүтээгдэхүүнийг хянах замаар урвалын процессын тогтвортой байдал, бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангах боломжтой. Практик хэрэглээнд шатаасан цахиурын карбидын урвалыг янз бүрийн хэрэглээний шаардлагыг хангахын тулд тодорхой хэрэглээний хувилбаруудын дагуу тохируулах шаардлагатай.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 6-р сарын 5