事例研究

事例研究：ドイツ製真空炉C/C複合ホットゾーンのアップグレード：変形防止と軽量化
管理者による投稿（2020年8月29日）
事例研究 | ホットゾーン材料ドイツ製真空炉 C/C 複合ホットゾーンアップグレード：変形防止と軽量化 Dr. Wang | VET Energy ホットゾーン材料部門 CTO 2026年8月27日 -62% ホットゾーン風袋重量 +35% 正味負荷容量 -22% 焼入れエネルギー >3倍の部品L...
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事例研究：高純度グラファイトるつぼを用いたCZ結晶の引き上げ歩留まりと寿命の向上
管理者による投稿（2022年8月26日）
事例研究：高純度グラファイトるつぼによるCZ結晶の引き上げ歩留まりと寿命の向上エンジニアリングリーダー：マーカス博士およびVET結晶熱場・高純度材料エンジニアリングチーム技術レポート：VET半導体材料・プロセス最適化事例研究（...
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事例研究：N型シリコン成長における32インチ単結晶熱電場用高純度グラファイト部品
管理者による投稿（2015年8月26日）
事例研究：N型シリコン成長における32インチ単結晶熱場向け高純度グラファイト部品著者：VET Energy社シニア半導体材料エンジニア兼テクニカルディレクター、スティーブン・チウ博士発行：2026年8月 | 技術現場報告およびエンジニアリング分析...
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半導体エピタキシャル成長用高純度グラファイトヒーターソリューション
管理者による投稿（2011年8月26日）
半導体エピタキシャル成長のための高純度グラファイトヒーターソリューション高温半導体プロセス（MOCVD（有機金属化学気相成長法）やSiCエピタキシャル成長など）では、熱場制御によって成膜厚さの均一性、ドーピング濃度、およびu...
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