SiCコーティング

VET ENERGYは、中国におけるCVD SICコーティングの大手メーカーです。

素材が未来を変える

炭化ケイ素（SiC）は新しい化合物半導体材料です。炭化ケイ素は、大きなバンドギャップ（シリコンの約3倍）、高い臨界電界強度（シリコンの約10倍）、高い熱伝導率（シリコンの約3倍）を有し、重要な次世代半導体材料です。SiCコーティングは、半導体産業や太陽光発電で広く使用されています。特に、LEDのエピタキシャル成長やSi単結晶エピタキシーで使用されるサセプタには、SiCコーティングの使用が必要です。照明およびディスプレイ産業におけるLEDの急激な上昇傾向と、半導体産業の活発な発展により、SiCコーティング製品見通しは非常に良好です。

応用分野

製品の用途と性能製品の用途と使用方法

Si単結晶産業、GaN、AlN、サファイア、その他のMOCVD基板。 -単結晶シリコンエピタキシャル成長用グラファイトベースコーティング

主な性能：高純度、耐侵食性、高熱伝導性、- MOCVDプロセス、GaNエピタキシャル成長用グラファイトベースコーティング

高温耐性、低熱膨張係数。

MOCVDサセプター

単結晶シリコンエピタキシャルサセプター

プラズマエッチングディスク

太陽光発電製品

半導体産業

太陽光発電

熱伝導率	250 W/m °K	レーザーフラッシュ法、RT
熱膨張係数（CTE）	4.5 x 10^-6°K	室温から950℃まで、シリカ膨張計
財産	価値	方法
密度	3.21 g/cc	沈下浮力と寸法
比熱	0.66 J/g °K	パルスレーザーフラッシュ
曲げ強度	450 MPa 560 MPa	4点曲げ、RT4点曲げ、1300°
破壊靭性	2.94 MPa m1/2	マイクロインデンテーション
硬度	2800	ビッカース弾、500g装填
弾性率ヤング率	450 GPa 430 GPa	4点曲げ、RT4点曲げ、1300℃
粒度	2～10 µm	SEM

図13

純度、SEM構造、厚さ分析SiCコーティング

CVD法を用いてグラファイト上に成膜したSiCコーティングの純度は99.9995%と非常に高い。その構造はfccである。グラファイト上に成膜されたSiC膜は、XRDデータ（図1）に示すように（111）配向しており、高い結晶品質を示している。SiC膜の厚さは図2に示すように非常に均一である。

CVD SiC薄膜のSEMデータ、結晶サイズは2～100μm

図2：SiC膜の厚さの均一性

CVD SiC膜の結晶構造は面心立方構造であり、膜の成長配向はほぼ100%である。

グラファイト上のβ-SiC膜のSEMおよびXRD分析

単結晶シリコンエピタキシャルベース

製品の性能と用途の見通し。

炭化ケイ素（SiC）コーティングベースは、単結晶シリコンおよびGaNエピタキシャル成長に最適なベースであり、エピタキシャル炉の中核部品です。ベースは、大型集積回路用単結晶シリコンの重要な製造用付属品です。高純度、耐高温性、耐腐食性、優れた気密性など、優れた材料特性を備えています。

製品の用途と使用方法

単結晶シリコンエピタキシャル成長用グラファイトベースコーティング。Aixtron社製装置などに適しています。コーティング厚さ：90～150μm。ウェーハクレーターの直径は55mmです。

太陽光発電

GAupidpelitcubaetiaonnd

グラファイトるつぼコーティングストレートプル法による単結晶シリコン

ストレートプル法による単結晶シリコンの工業生産三弁るるつぼ高温ベアリングおよび均一熱伝導部として、フローチューブは排気ガス循環チャネルとして熱伝導部として、フローチューブは排気ガス循環チャネルとして

ヒータ, グラファイト板, グラファイトシリンダーグラファイトシートとその他の成形部品

製品の特徴

耐高温性、耐腐食性、長寿命で、ウェーハの品質と生産性を向上させることができます。熱膨張係数が非常に低く、耐高温性、耐摩耗性、絶縁性、化学的安定性に優れ、外部可視光透過率はほぼ紫色（赤色）です。

当社を選ぶ理由

プロ仕様の機材とチーム

クラス1000の無塵作業場

*3000平方メートルを超える1000クラスのクリーンルーム

*中国科学院の共同研究開発チーム

*専門的な生産設備および精密試験装置

*十分な生産能力と高品質な生産能力

クイックサービス

ご注文前のお問い合わせにつきましては、弊社の専門営業チームが営業時間内であれば50～100分以内、営業時間外であれば12時間以内にご回答いたします。迅速かつ専門的な対応により、お客様に最適なソリューションを効率的にご提案し、ご満足いただけるようサポートいたします。

ご注文処理段階では、弊社の専門サービスチームが3～5日ごとに写真を撮影し、お客様に生産状況をリアルタイムでご報告いたします。また、発送状況に関する書類を36時間以内にご提供いたします。弊社はアフターサービスにも細心の注意を払っております。

アフターサービス段階においても、弊社のサービスチームは常にお客様と密に連絡を取り合い、いつでもサポートいたします。専門的なアフターサービスには、お客様の現場で問題解決を支援するためにエンジニアを派遣することも含まれます。保証期間は納品後12ヶ月です。

梱包の詳細

寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、グラファイト部品の専門メーカーであり、特に新しい半導体材料の開発とSiCコーティングの研究開発に注力しています。同社の主な製品は、LED業界および単結晶シリコン業界向けのSiCコーティングサセプタです。LED業界および単結晶シリコン業界で使用されるSiC膜は立方晶相であり、ダイヤモンドと同じ格子構造を持ち、その硬度はダイヤモンドと同等です。炭化ケイ素は最も成熟したワイドバンドギャップ半導体材料であり、半導体業界で幅広い応用が期待されています。さらに、炭化ケイ素は高い熱伝導率、小さな熱膨張係数、高い耐熱性（約2700℃）、優れた耐食性を備えています。同社の炭化ケイ素コーティング製品は、航空宇宙、太陽光発電、原子力、高速鉄道、自動車などの業界でも広く使用されています。