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事例研究:ドイツ製真空炉C/C複合ホットゾーンのアップグレード:変形防止と軽量化
事例研究 | ホットゾーン材料 ドイツ製真空炉 C/C 複合ホットゾーンアップグレード:変形防止と軽量化 Dr. Wang | VET Energy ホットゾーン材料部門 CTO 2026年8月27日 -62% ホットゾーン風袋重量 +35% 正味負荷容量 -22% 焼入れエネルギー >3倍の部品L...続きを読む -
事例研究:高純度グラファイトるつぼを用いたCZ結晶の引き上げ歩留まりと寿命の向上
事例研究:高純度グラファイトるつぼによるCZ結晶の引き上げ歩留まりと寿命の向上 エンジニアリングリーダー:マーカス博士およびVET結晶熱場・高純度材料エンジニアリングチーム 技術レポート:VET半導体材料・プロセス最適化事例研究(...続きを読む -
事例研究:N型シリコン成長における32インチ単結晶熱電場用高純度グラファイト部品
事例研究:N型シリコン成長における32インチ単結晶熱場向け高純度グラファイト部品 著者:VET Energy社シニア半導体材料エンジニア兼テクニカルディレクター、スティーブン・チウ博士 発行:2026年8月 | 技術現場報告およびエンジニアリング分析...続きを読む -
高純度グラファイトサセプターに関する包括的なガイド
現代の半導体デバイス製造や第三世代化合物半導体(炭化ケイ素[SiC]や窒化ガリウム[GaN]など)の製造において、業界の議論はしばしば超高度なEUVリソグラフィ装置、プラズマエッチング装置、または前駆体ガスの純度を中心に展開される。しかし、その内部では…続きを読む -
半導体エピタキシャル成長用高純度グラファイトヒーターソリューション
半導体エピタキシャル成長のための高純度グラファイトヒーターソリューション 高温半導体プロセス(MOCVD(有機金属化学気相成長法)やSiCエピタキシャル成長など)では、熱場制御によって成膜厚さの均一性、ドーピング濃度、およびu...続きを読む -
グラファイトるつぼの解説:材料特性、製造プロセス、および高温半導体プロセスにおける応用
はじめに:グラファイトるつぼ ― 極高温製造における重要な構成要素 現代のハイエンド製造の分野では、多くの重要なプロセスが極度の高温環境に依存しています。従来の金属精錬から第3世代の製造まで…続きを読む -
特注高純度等方性グラファイトるつぼケース:高周波誘導溶解における亀裂と汚染の課題を解決する方法
1. エグゼクティブサマリー/主要データ概要:12サイクルから40サイクルへ – 明確なリスクと価値の評価 要点:クライアントは当初、高周波誘導溶解において頻繁な急冷割れと灰の混入に直面していました。当社のソリューションは、材料の最適化を通じて最適化された等方性グラファイトるつぼでした。続きを読む -
多孔質炭化ケイ素セラミックスの加工と特性
Ⅰ.はじめに 多孔質炭化ケイ素(多孔質SiC)セラミックスは、炭化ケイ素の優れた特性と、綿密に設計された多孔質構造を組み合わせた先進的なセラミック材料です。緻密なSiCセラミックスとは異なり、多孔質SiCは相互に連結した細孔を導入することで、さらなる特性向上を実現します。続きを読む -
高純度等方圧グラファイトるつぼ技術マニュアルおよび誘導溶解・半導体プロセス向け選定ガイド
1. 材料工学とコア技術仕様 コアインサイト:冷間静水圧プレス(CIP)は、高密度で均一な微細構造を作り出し、機械的強度、耐侵食性、熱効率において、従来の押出成形または振動成形グラファイトを大幅に上回ります。続きを読む