SiC 코팅된 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 우리는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 뛰어난 서비스 수명은 물론 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖춘 SiC 코팅된 서스킷포어를 만듭니다.
우리 제품의 특징:
1. 최대 1700℃의 고온 내산화성.
2. 고순도 및 열균일성
3. 우수한 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
4. 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
5. 수명이 길어지고 내구성이 향상됩니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 晶体结构 / 결정구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10μm |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!
