PECVD 흑연 보트 세척 방법 | VET 에너지

1. 청소 전 확인

1) 때PECVD 흑연 보트/캐리어를 100회에서 150회 이상 사용하는 경우, 작업자는 코팅 상태를 적시에 점검해야 합니다. 코팅에 이상이 있는 경우 세척 및 확인을 거쳐야 합니다. 흑연 보트/캐리어에 있는 실리콘 웨이퍼의 정상적인 코팅 색상은 파란색입니다. 웨이퍼가 파란색이 아니거나 여러 가지 색상으로 코팅되어 있거나 웨이퍼 간 색상 차이가 큰 경우, 코팅에 이상이 있는 것이므로 적시에 원인을 확인해야 합니다.
2) 공정 인력이 코팅 상태를 분석한 후PECVD 흑연 보트/캐리어의 경우, 흑연 보트를 청소해야 하는지, 카드 포인트를 교체해야 하는지 판단하고, 청소가 필요한 흑연 보트/캐리어는 청소를 위해 장비 담당자에게 인계됩니다.

 

3) 그 후흑연 보트/캐리어가 손상된 경우 생산 인력은 흑연 보트에 있는 모든 실리콘 웨이퍼를 꺼내고 CDA(압축 공기)를 사용하여 파편을 분류합니다.흑연 보트완료 후, 장비 담당자가 세척을 위해 일정 비율의 HF 용액이 준비된 산 탱크로 옮겨 담습니다.

 

2. 흑연 보트 세척

15~25% 불산 용액을 사용하여 4~5시간씩 3회 세척하는 것이 좋습니다. 침지 및 세척 과정에서 주기적으로 질소를 버블링하여 약 30분 동안 세척하는 것이 좋습니다. 참고: 버블링 가스 공급원으로 공기를 직접 사용하는 것은 권장하지 않습니다. 산세척 후 약 10시간 동안 순수로 헹구고 보트가 완전히 세척되었는지 확인하십시오. 세척 후 보트 표면, 흑연 카드 포인트, 보트 시트 접합부 및 기타 부품을 검사하여 질화규소 잔류물이 있는지 확인하십시오. 그런 다음 요구 사항에 따라 건조하십시오.

3. 청소 시 주의사항

A) 불산은 부식성이 강하고 휘발성이 높아 작업자에게 위험합니다. 따라서 세척 작업장의 작업자는 안전 예방 조치를 취하고 전담자가 관리해야 합니다.

B) 세척 시 보트를 분해하여 흑연 부분만 세척하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 각 접촉 부분을 더욱 꼼꼼하게 세척할 수 있습니다. 현재 많은 국내 제조업체에서 전면 세척 방식을 사용하고 있는데, 이는 편리하지만, 불산은 세라믹 부품을 부식시키기 때문에 전면 세척은 해당 부품의 수명을 단축시킵니다.