PECVD 흑연 보트를 청소하는 방법은? | VET Energy

1. 청소 전 확인 사항

1) ~할 때PECVD 흑연 보트캐리어/그래파이트 보트를 100~150회 이상 사용하는 경우, 작업자는 코팅 상태를 제때 점검해야 합니다. 코팅 이상이 발견되면 세척 및 점검을 실시해야 합니다. 그래파이트 보트/캐리어에 담긴 실리콘 웨이퍼의 정상적인 코팅 색상은 파란색입니다. 웨이퍼에 파란색이 아니거나, 여러 가지 색상이 나타나거나, 웨이퍼 간 색상 차이가 큰 경우 코팅 이상이므로, 이상 원인을 즉시 점검해야 합니다.
2) 공정 담당자가 코팅 상태를 분석한 후PECVD 흑연 보트/캐리어를 점검한 후, 흑연 보트를 청소해야 하는지, 카드 포인트를 교체해야 하는지 판단하고, 청소가 필요한 흑연 보트/캐리어는 장비 담당자에게 인계하여 청소합니다.

 

3) 그 후에흑연 보트캐리어가 손상된 경우, 생산 담당자는 흑연 보트에 있는 모든 실리콘 웨이퍼를 꺼내 압축 공기(CDA)를 사용하여 파편을 분류합니다.흑연 보트작업이 완료되면 장비 담당자는 장비를 세척을 위해 일정 비율의 HF 용액이 담긴 산성 탱크로 들어 올립니다.

 

2. 흑연 보트 청소

세척은 15~25% 불산 용액을 사용하여 4~5시간씩 3회 실시하는 것이 좋습니다. 세척 과정 중 질소를 주기적으로 주입하여 세척 시간을 약 30분 정도 추가하십시오. 단, 질소 주입 시 공기를 직접 사용하는 것은 권장하지 않습니다. 세척 후 약 10시간 동안 깨끗한 물로 헹궈 보트가 완전히 세척되었는지 확인하십시오. 세척 후 보트 표면, 흑연 카드 접합부, 보트 판재 이음새 및 기타 부분에 질화규소 잔류물이 남아 있는지 확인하고, 규정에 따라 건조하십시오.

3. 청소 시 주의사항

A) HF산은 부식성이 매우 강하고 휘발성이 있어 작업자에게 위험합니다. 따라서 세척 작업반은 안전 예방 조치를 철저히 준수해야 하며, 전담 인력의 관리를 받아야 합니다.

B) 보트를 분해하여 흑연 부분만 세척하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 접촉 부위를 더욱 철저하게 세척할 수 있습니다. 현재 많은 국내 제조업체들이 편의상 전체 세척 방식을 사용하고 있지만, 불산은 세라믹 부품을 부식시키기 때문에 전체 세척은 해당 부품의 수명을 단축시킬 수 있습니다.