ເຄິ່ງທໍາອິດ -SiC ພາກສ່ວນອຸປະກອນ epitaxial

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

ຊິ້ນສ່ວນ graphite ເຄືອບ SiC ສໍາລັບອຸປະກອນ SiC epitaxial ຈາກ LPE ອິຕາລີ

ການແນະນໍາຜະລິດຕະພັນແລະການນໍາໃຊ້: SiC epitaxial ອຸປະກອນຕິກິຣິຍາຫ້ອງພາກສ່ວນອື່ນໆຂອງຍານພາຫະນະ, ອຸນຫະພູມຄວບຄຸມ

ສະຖານທີ່ອຸປະກອນຂອງຜະລິດຕະພັນ: ຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ, ບໍ່ແມ່ນການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafer ໄດ້

ຜະລິດຕະພັນລຸ່ມນ້ໍາຕົ້ນຕໍ: ອຸປະກອນພະລັງງານ

ຕະຫຼາດຫຼັກແຫຼ່ງ: ພາຫະນະພະລັງງານໃໝ່