Ko te haurua tuatahi - nga waahanga taputapu epitaxial SiC

Whakaahuatanga Poto:

Ko nga waahanga kauwhata kua pania a SiC mo nga taputapu epitaxial SiC mai i LPE Itari

Te whakaurunga hua me te whakamahi:SiC epitaxial taputapu ruuma urupare etahi atu waahanga o te waka, te pāmahana whakahaere

Te waahi o te taputapu o te hua: i roto i te ruma tauhohenga, kaua i te whakapiri tika ki te angiangi

Nga hua matua whakararo: nga taputapu hiko

Te maakete tauranga matua: nga waka hiko hou