ເທທໍ່ເຕົາ Quartzເປັນວັດສະດຸບໍລິໂພກຫຼັກໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ອຸດສາຫະກຳແສງອາທິດ, ການບຳບັດຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າໃນຫ້ອງທົດລອງ. ພວກມັນຖືກເຮັດດ້ວຍຊິລິກາຟອກຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiO2) ທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ ແລະ ຄວາມໂປ່ງໃສທາງແສງ. ຜະລິດຕະພັນນີ້ຖືກອອກແບບມາສຳລັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, CVD, ການອົບແຫ້ງ, ແລະອື່ນໆ), ແລະ ສາມາດປັບໃຫ້ເຂົ້າກັບເຕົາອົບທໍ່ ແລະ ອຸປະກອນ PECVD ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີ, ການເຄືອບເຊວແສງອາທິດ, ການເຕີບໂຕຂອງແຜ່ນ LED epitaxial ແລະ ຂົງເຂດຄວາມແມ່ນຍໍາສູງອື່ນໆ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຂອງທໍ່ quartz VET Energy:
- ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ
ຮັບເອົາດິນຊາຍ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.99% ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ, ມີສິ່ງປົນເປື້ອນ (Na, K, Fe, ແລະອື່ນໆ) <10ppm, ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ລະອຽດອ່ອນ.
ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ Ra≤0.8μm, ຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບ.
- ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ດີເລີດ
ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກໄລຍະຍາວ: 1200℃ (ໃຊ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ); ອຸນຫະພູມສູງສຸດໄລຍະສັ້ນ: 1450℃ (≤2 ຊົ່ວໂມງ).
ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ (5.5x10)-7/℃), ທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີເລີດ, ສາມາດທົນກັບອຸນຫະພູມທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດລົງຢ່າງໄວວາ (≤10℃/ນາທີ).
- ການຄວບຄຸມຂະໜາດທີ່ຊັດເຈນ
ຄວາມທົນທານຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນ ±0.5 ມມ, ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຊື່ <1 ມມ/ມ, ເພື່ອຮັບປະກັນການຈັບຄູ່ຢ່າງໃກ້ຊິດກັບຮ່າງກາຍເຕົາ.
ຮອງຮັບການປັບແຕ່ງທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນ 20 ມມ-500 ມມ, ຄວາມຍາວ 100 ມມ-3000 ມມ.
- ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ
ທົນທານຕໍ່ກົດແຮງ (ຍົກເວັ້ນ HF), ດ່າງແຮງ ແລະ ຕົວລະລາຍອິນຊີສ່ວນໃຫຍ່, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ.
ຄວາມແໜ້ນໜາຂອງອາຍແກັສທີ່ດີເລີດ, ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼ <<1x10-9ແພນ.ມ3/s, ເໝາະສົມສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສປ້ອງກັນ.
- ການບໍລິການທີ່ກຳນົດເອງ
ຮອງຮັບຊ່ອງເປີດ, ໜ້າແປນ, ຫຼາຍຊ່ອງທາງ, ໂຄງສ້າງຮູບຊົງ ແລະ ການອອກແບບອື່ນໆ ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການພິເສດຂອງຂະບວນການ.
ສາມາດເຄືອບດ້ວຍຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການເກີດຜລຶກ.
ບໍລິສັດ ໜິງໂປ ເວດ ພະລັງງານ ເທັກໂນໂລຢີ ຈຳກັດ ເປັນວິສາຫະກິດເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຸມໃສ່ການພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ທັນສະໄໝລະດັບສູງ, ວັດສະດຸ ແລະ ເທັກໂນໂລຢີດັ່ງກ່າວລວມມີ ແກຣໄຟ, ຊິລິກອນ ຄາໄບ, ເຊລາມິກ, ການເຄືອບພື້ນຜິວເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບຄາບອນແກ້ວ, ການເຄືອບຄາບອນໄພໂຣໄລຕິກ, ແລະອື່ນໆ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດພະລັງງານແສງຕາເວັນ, ເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານໃໝ່, ໂລຫະວິທະຍາ, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ແລະ ໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຫຼາຍຢ່າງເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຍັງສາມາດໃຫ້ລູກຄ້າມີວິທີແກ້ໄຂດ້ານວັດສະດຸແບບມືອາຊີບ.
