LPE ItalyのSiCエピタキシャル装置用SiCコーティンググラファイト部品
製品の紹介と用途:SiCエピタキシャル装置反応室その他の車両の部品、温度制御
製品のデバイス位置:反応室内、ウェハと直接接触しない
主な下流製品:パワーデバイス
主要ターミナル市場:新エネルギー車