前半部分 - SiCエピタキシャル装置の部品

簡単な説明：

LPEイタリア社製のSiCエピタキシャル装置用SiCコーティンググラファイト部品

製品紹介と用途：SiCエピタキシャル装置の反応チャンバー、その他の車両部品、温度制御

製品の設置場所：反応チャンバー内、ウェーハとは直接接触しない

主な下流製品：パワーデバイス

主要ターミナル市場：新エネルギー車