ເຮືອເວເຟີ Quartzເປັນເຄື່ອງມືສຳຄັນໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ການຜະລິດເຊວແສງອາທິດ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາວັດສະດຸຂັ້ນສູງ, ອອກແບບມາສຳລັບການໂອນເວເຟີທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍຊິລິກາປະສົມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດ (SiO2), ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມທີ່ດີເລີດ, ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີ ແລະ ລັກສະນະການປົນເປື້ອນໂລຫະຕ່ຳພິເສດ, ເໝາະສຳລັບເຕົາແຜ່ກະຈາຍ, ເຕົາຜຸພັງ, PECVD/LPCVD ແລະ ອຸປະກອນອື່ນໆ, ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຄືອບເວເຟີ, ການຝັງໄອອອນ, ການອົບແຫ້ງທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຂະບວນການຫຼັກອື່ນໆ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຂອງເຮືອ quartz ຂອງ VET Energy:
- ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ
ຄວາມບໍລິສຸດ ≥99.99%: ປະລິມານສິ່ງເຈືອປົນ (Na, K, Fe, ແລະອື່ນໆ) <5ppm, ຫຼີກລ່ຽງການປົນເປື້ອນຂອງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຮັບປະກັນຜົນຜະລິດຂອງຊິບ.
ປະລິມານນ້ຳຝົນ ແລະ ການດູດຊຶມຕ່ຳ: ພື້ນຜິວຖືກຂັດເງົາຢ່າງດີ (Ra≤0.4μm) ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ ແລະ ສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງອາຍແກັສ. - ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມສູງ
ຂີດຈຳກັດອຸນຫະພູມ: ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກໄລຍະຍາວ 1100 ℃, ຈຸດສູງສຸດໄລຍະສັ້ນ 1300 ℃, ບໍ່ມີການຜິດຮູບ, ບໍ່ມີການຕົກຕະກອນຂອງຜລຶກ.
ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ (5.5x10-7/℃), ຕ້ານທານການກະແທກທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບຂະບວນການເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດລົງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາ (ເຊັ່ນ: ການອົບແຫ້ງໄວ RTP). - ການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ຊັດເຈນ
ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຊ່ອງ ± 0.1 ມມ: ຈັບຄູ່ກັບເວເຟີຂະໜາດ 2” ຫາ 12”, ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງໄລຍະຫ່າງ <0.05 ມມ, ຮັບປະກັນວ່າເວເຟີບໍ່ມີການຊົດເຊີຍ.
ຄວາມສາມາດໃນການຮັບນ້ຳໜັກສູງ: ນ້ຳໜັກສູງສຸດ 50 ແຜ່ນ (ໃນແງ່ຂອງແຜ່ນຂະໜາດ 12”) ໃນເຮືອດຽວ, ຮອງຮັບການໂອນແຜ່ນບາງໆ (≥100um) ທີ່ໝັ້ນຄົງ. - ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ
ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: ທົນທານຕໍ່ກົດ (ຍົກເວັ້ນ HF), ດ່າງ ແລະ ການກັດກ່ອນຂອງຕົວລະລາຍອິນຊີ, ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຂະບວນການທຳຄວາມສະອາດ CMP.
ຄວາມແໜ້ນໜາຂອງອາຍແກັສດີເລີດ: ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼ <5x10-10 Pa.m3/s, ເໝາະສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ ແລະ ອາຍແກັສປ້ອງກັນ. - ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ ແລະ ງ່າຍຕໍ່ການຮັກສາ
ອາຍຸການໃຊ້ງານ ≥ 5000 ຮອບວຽນ (ສະພາບການເຮັດວຽກປົກກະຕິ), ພື້ນຜິວສາມາດເຮັດຄວາມສະອາດ ແລະ ນຳໃຊ້ໄດ້ຊ້ຳແລ້ວຊ້ຳອີກ, ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນໂດຍລວມ.
ການອອກແບບແບບໂມດູນ: ຮອງຮັບການທົດແທນບາງສ່ວນ (ເຊັ່ນ: ແຂ້ວເຮືອອັນດຽວ), ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ.
ພວກເຮົາມີທັງພື້ນຜິວໂປ່ງໃສ ແລະ ພື້ນຜິວທີ່ມີນ້ຳຄ້າງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ:
ບໍລິສັດ ໜິງໂປ ເວດ ພະລັງງານ ເທັກໂນໂລຢີ ຈຳກັດ ເປັນວິສາຫະກິດເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຸມໃສ່ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍວັດສະດຸທີ່ທັນສະໄໝລະດັບສູງ, ວັດສະດຸ ແລະ ເທັກໂນໂລຢີລວມທັງ ແກຣໄຟ, ຊິລິກອນ ຄາໄບ, ເຊລາມິກ, ການເຄືອບພື້ນຜິວເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບຄາບອນແກ້ວ, ການເຄືອບຄາບອນໄພໂຣໄລຕິກ, ແລະອື່ນໆ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດແສງອາທິດ, ເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານໃໝ່, ໂລຫະວິທະຍາ, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ແລະ ໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຫຼາຍຢ່າງເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຍັງສາມາດໃຫ້ລູກຄ້າມີວິທີແກ້ໄຂດ້ານວັດສະດຸແບບມືອາຊີບ.
