CVD SiC бүрхүүлийн хэрэглээ
ньCVD SiC бүрхүүлЭнэхүү процесс нь олон талт байдал болон гүйцэтгэлийн давуу талуудын ачаар хэд хэдэн салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Үндсэн хэрэглээний нэг нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл бөгөөд SiC бүрсэн эд ангиуд нь вафли боловсруулах явцад эмзэг гадаргууг хамгаалахад тусалдаг. Сусцептор, цагираг, вафли зөөгч зэрэг CVD SiC бүрсэн тоног төхөөрөмж нь өндөр температурын тогтвортой байдлыг хангаж, үйлдвэрлэлийн чухал үе шатанд бохирдлоос сэргийлдэг.
Агаарын тээврийн салбарт,CVD SiC бүрхүүлхэт халуун болон механик стрессд өртдөг эд ангиудад хэрэглэнэ. Бүрхүүл нь хүнд нөхцөлд ажилладаг турбины ир болон шаталтын камеруудын ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг. Нэмж дурдахад, CVD SiC нь тусгал болон дулааны тогтвортой байдлын шинж чанараас шалтгаалан толь болон оптик төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд түгээмэл хэрэглэгддэг.
CVD SiC-ийн өөр нэг гол хэрэглээ нь химийн үйлдвэрт байдаг. Энд SiC бүрхүүл нь дулаан солилцуур, битүүмжлэл, шахуурга зэрэг эд ангиудыг зэврэлтээс хамгаалдаг. SiC гадаргуу нь хүчил ба суурийн нөлөөнд автдаггүй тул химийн бат бөх чанар чухал орчинд тохиромжтой.
CVD SiC бүрхүүлийн шинж чанарууд
CVD SiC бүрхүүлийн шинж чанарууд нь үүнийг эдгээр хэрэглээнд өндөр үр дүнтэй болгодог. Үүний гол шинж чанаруудын нэг нь хатуулаг бөгөөд Мохсын хатуулгийн шатлалаар алмаазтай ойролцоо байр эзэлдэг. Энэхүү хэт хатуулаг нь CVD SiC бүрхүүлд элэгдэл, үрэлтэд гайхалтай тэсвэртэй байдлыг өгдөг тул өндөр үрэлттэй орчинд тохиромжтой болгодог.
Үүнээс гадна SiC нь маш сайн дулаан дамжуулалттай тул бүрсэн эд ангиуд нь өндөр температурт ч гэсэн бүрэн бүтэн байдлаа хадгалах боломжийг олгодог. Энэ нь хагас дамжуулагч болон сансрын хэрэглээнд онцгой чухал бөгөөд материалууд нь бүтцийн бат бөх чанарыг хадгалахын зэрэгцээ хэт халуунд тэсвэртэй байх ёстой.
CVD SiC бүрхүүлийн химийн идэвхгүй байдал нь бас нэгэн мэдэгдэхүйц давуу тал юм. Энэ нь исэлдэлт, зэврэлт, түрэмгий бодисуудтай химийн урвалд тэсвэртэй тул химийн боловсруулалтын тоног төхөөрөмжид тохиромжтой бүрхүүл болгодог. Түүнчлэн, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь бүрсэн гадаргуу нь дулааны мөчлөгийн нөхцөлд ч хэлбэр, үйл ажиллагаагаа хадгалах боломжийг олгодог.
Дүгнэлт
Товчхондоо, CVD SiC бүрхүүл нь хэт халуун, механик стресс, химийн зэврэлтийг тэсвэрлэх чадвартай материал шаарддаг салбаруудад бат бөх, өндөр гүйцэтгэлтэй шийдлийг өгдөг. Үүний хэрэглээ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлээс эхлээд сансар судлал, химийн боловсруулалт хүртэл өргөн хүрээг хамардаг бөгөөд SiC-ийн шинж чанарууд, тухайлбал хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл нь үйл ажиллагааны амжилтад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Аж үйлдвэрүүд гүйцэтгэл, найдвартай байдлын хил хязгаарыг тэлсээр байгаа тул CVD SiC бүрхүүл нь эд ангийн бат бөх чанар, ашиглалтын хугацааг нэмэгдүүлэх гол технологи хэвээр байх болно.
vet-china зэрэг мэргэшсэн үйлдвэрлэгчдийн туршлагыг ашигласнаар компаниуд орчин үеийн үйлдвэрлэлийн процессын хатуу шаардлагыг хангасан өндөр чанартай CVD SiC бүрхүүлийг авах боломжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 18