CVD SiC ආලේපනයේ යෙදුම්
එමCVD SiC ආලේපනයඑහි බහුකාර්යතාව සහ කාර්ය සාධන ප්රතිලාභ හේතුවෙන් මෙම ක්රියාවලිය කර්මාන්ත කිහිපයකම බහුලව භාවිතා වේ. ප්රධාන යෙදුම්වලින් එකක් වන්නේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයයි, එහිදී SiC-ආලේපිත සංරචක වේෆර් සැකසීමේදී සියුම් මතුපිට ආරක්ෂා කිරීමට උපකාරී වේ. සස්පෙක්ටර්, මුදු සහ වේෆර් වාහක වැනි CVD SiC-ආලේපිත උපකරණ, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව සහතික කරන අතර තීරණාත්මක නිෂ්පාදන අවධීන්හිදී දූෂණය වීම වළක්වයි.
අභ්යවකාශ කර්මාන්තය තුළ,CVD SiC ආලේපනයඅධික තාපයට සහ යාන්ත්රික ආතතියට නිරාවරණය වන සංරචක සඳහා යොදනු ලැබේ. මෙම ආලේපනය කටුක තත්වයන් යටතේ ක්රියාත්මක වන ටර්බයින් තල සහ දහන කුටිවල ආයු කාලය සැලකිය යුතු ලෙස දීර්ඝ කරයි. මීට අමතරව, CVD SiC එහි පරාවර්තක සහ තාප ස්ථායිතා ගුණාංග නිසා දර්පණ සහ දෘශ්ය උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.
CVD SiC හි තවත් ප්රධාන යෙදුමක් රසායනික කර්මාන්තයේ පවතී. මෙහිදී, SiC ආලේපන තාපන හුවමාරුකාරක, මුද්රා සහ පොම්ප වැනි සංරචක විඛාදන ද්රව්ය වලින් ආරක්ෂා කරයි. SiC මතුපිට අම්ල සහ භෂ්ම වලින් බලපෑමට ලක් නොවී පවතින බැවින් රසායනික කල්පැවැත්ම අත්යවශ්ය පරිසරයන් සඳහා එය වඩාත් සුදුසු වේ.
CVD SiC ආලේපනයේ ලක්ෂණ
CVD SiC ආලේපනයේ ගුණාංග මෙම යෙදුම් වලදී එය ඉතා ඵලදායී කරයි. එහි ප්රධාන ලක්ෂණයක් වන්නේ එහි දෘඪතාවයි, එය Mohs දෘඪතා පරිමාණයෙන් දියමන්ති වලට ආසන්නව ශ්රේණිගත කර ඇත. මෙම අධික දෘඪතාව CVD SiC ආලේපන ඇඳීමට සහ සීරීමට කැපී පෙනෙන ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙන අතර එමඟින් ඒවා ඉහළ ඝර්ෂණ පරිසරයන්ට සුදුසු වේ.
මීට අමතරව, SiC විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතර, එමඟින් ආලේපිත සංරචක ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී පවා ඒවායේ අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීමට ඉඩ සලසයි. ව්යුහාත්මක ශක්තිය ආරක්ෂා කරමින් ද්රව්ය අධික තාපයට ඔරොත්තු දිය යුතු අර්ධ සන්නායක සහ අභ්යවකාශ යෙදුම් වලදී මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ.
CVD SiC ආලේපනයේ රසායනික නිෂ්ක්රීයභාවය තවත් කැපී පෙනෙන වාසියකි. එය ආක්රමණශීලී ද්රව්ය සමඟ ඔක්සිකරණය, විඛාදනයට සහ රසායනික ප්රතික්රියා වලට ප්රතිරෝධී වන අතර එමඟින් රසායනික සැකසුම් උපකරණ සඳහා කදිම ආලේපනයක් බවට පත් කරයි. එපමණක් නොව, එහි අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය තාප චක්රීය තත්වයන් යටතේ වුවද ආලේපිත මතුපිට ඒවායේ හැඩය සහ ක්රියාකාරිත්වය රඳවා තබා ගැනීම සහතික කරයි.
නිගමනය
සාරාංශයක් ලෙස, CVD SiC ආලේපනය අධික තාපය, යාන්ත්රික ආතතිය සහ රසායනික විඛාදනයට ඔරොත්තු දිය හැකි ද්රව්ය අවශ්ය කර්මාන්ත සඳහා කල් පවතින, ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත විසඳුමක් සපයයි. එහි යෙදීම් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සිට අභ්යවකාශ සහ රසායනික සැකසුම් දක්වා විහිදේ, එහිදී දෘඪතාව, තාප ස්ථායිතාව සහ රසායනික ප්රතිරෝධය වැනි SiC හි ගුණාංග මෙහෙයුම් සාර්ථකත්වය සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. කර්මාන්ත කාර්ය සාධනයේ සහ විශ්වසනීයත්වයේ සීමාවන් තල්ලු කිරීම දිගටම කරගෙන යන බැවින්, CVD SiC ආලේපන සංරචක කල්පැවැත්ම සහ කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ප්රධාන තාක්ෂණයක් ලෙස පවතිනු ඇත.
vet-china වැනි විශේෂිත නිෂ්පාදකයින්ගේ විශේෂඥතාව උපයෝගී කර ගැනීමෙන්, සමාගම්වලට නවීන කාර්මික ක්රියාවලීන්ගේ දැඩි ඉල්ලුම සපුරාලන උසස් තත්ත්වයේ CVD SiC ආලේපන ලබා ගත හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-18-2023