သက်တမ်းရှည် SICMOCVD K465i အတွက် အလွှာပါး ဂရပ်ဖိုက် အပူပေးစက်, epitaxy အတွက် ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်၊
MOCVD K465i အတွက် အလွှာပါး ဂရပ်ဖိုက် အပူပေးစက်, ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်, MOCVD အတွက် ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်, SIC အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် အပူပေးစက်,

သက်တမ်းရှည် SICMOCVD K465i အတွက် အလွှာပါး ဂရပ်ဖိုက် အပူပေးစက်

ထိုဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်အစိတ်အပိုင်းများကို လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူချိန် ၂၂၀၀ ဒီဂရီနှင့် အောက်ဆီဒေးရှင်းကင်းစင်ပြီး ထည့်သွင်းထားသော ဓာတ်ငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူချိန် ၃၀၀၀ ဒီဂရီရှိသော အပူချိန်မြင့်မီးဖိုတွင် အသုံးပြုသည်။
ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ:
၁။ အပူပေးဖွဲ့စည်းပုံ၏ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှု။
၂။ လျှပ်စစ်စီးကူးမှုကောင်းမွန်ပြီး လျှပ်စစ်ဝန်အားမြင့်မားသည်။
၃။ ချေးခံနိုင်ရည်။
၄။ အောက်ဆီဒေးရှင်း မဖြစ်နိုင်ခြင်း။
၅။ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ သန့်စင်မှု မြင့်မားခြင်း။
၆။ မြင့်မားသောစက်မှုအစွမ်းသတ္တိ။
အားသာချက်ကတော့ စွမ်းအင်ချွေတာမှု၊ တန်ဖိုးမြင့်မားမှုနဲ့ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုနည်းပါးခြင်းပဲ ဖြစ်ပါတယ်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်ပစ္စည်းနှင့် သက်တမ်းရှည်သော ဂရပ်ဖိုက် ခွက်၊ ဂရပ်ဖိုက်မှိုနှင့် ဂရပ်ဖိုက် အပူပေးစက်၏ အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပါသည်။
ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်၏အဓိက parameters များ:

လျှပ်စစ်မီးဖိုအတွက် ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်တွင် အပူခံနိုင်ရည်၊ အောက်ဆီဒေးရှင်းခံနိုင်ရည်၊ လျှပ်စစ်စီးကူးမှုကောင်းမွန်ခြင်းနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာပြင်းထန်မှုပိုမိုကောင်းမွန်ခြင်းတို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဖောက်သည်များ၏ ဒီဇိုင်းများအလိုက် ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်အမျိုးအစား အမျိုးမျိုးကို စက်ဖြင့်ပြုလုပ်နိုင်ပါသည်။