-
ခေတ်မီ LPCVD မီးဖိုပြုပြင်ခြင်းအတွက် SiC Cantilever Paddle အဘယ်ကြောင့် အရေးကြီးသနည်း။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုသည် စက်ပစ္စည်းဂျီသြမေတြီငယ်များ၊ wafer throughput မြင့်မားခြင်းနှင့် ပိုမိုတင်းကျပ်လာသော ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှုစံနှုန်းများဆီသို့ တိုးတက်ပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ အပူဖြင့်လုပ်ဆောင်သည့် စက်ပစ္စည်းများသည် မကြုံစဖူး အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုများနှင့် ရင်ဆိုင်နေရသည်။ LPCVD၊ အပူဓာတ်တိုးခြင်း၊ dopant ပျံ့နှံ့ခြင်း၊ ... ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များသည်ပိုပြီးဖတ်ပါ -
SiC ပျံ့နှံ့ပြွန်ဆိုတာဘာလဲ။ လုပ်ဆောင်ချက်များ၊ ပစ္စည်းများနှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်အသုံးချမှုများ
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် အပူချိန်မြင့် အပူပေးစနစ်သည် အောက်ဆီဒိုက်၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ အပူပေးခြင်းနှင့် LPCVD စုပုံခြင်းကဲ့သို့သော ဝေဖာထုတ်လုပ်ခြင်းအဆင့်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များကို ပုံမှန်အားဖြင့် 800°C မှ 1200°C အကြား လည်ပတ်နေသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း မီးဖိုစနစ်များအတွင်း လုပ်ဆောင်လေ့ရှိပြီး အပူချိန်...ပိုပြီးဖတ်ပါ -
Porous Graphite ဆိုတာဘာလဲ။ ဂုဏ်သတ္တိများ၊ အသုံးချမှုများနှင့် Semiconductor အားသာချက်များ
မိတ်ဆက်- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အပေါက်များသော ဂရပ်ဖိုက် အဘယ်ကြောင့် အရေးကြီးသနည်း။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးသည် အဆင့်မြင့် node များနှင့် ဒြပ်ပေါင်း တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ (ဥပမာ SiC) သို့ ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ၊ ပစ္စည်းလိုအပ်ချက်များသည် ပိုမိုတင်းကျပ်လာပါသည်။ အပူချိန်မြင့်မားသော တည်ငြိမ်မှု၊ အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် တိကျသော ဓာတ်ငွေ့...ပိုပြီးဖတ်ပါ -
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ဂရပ်ဖိုက်၏ အသုံးချမှုများကား အဘယ်နည်း။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အလွန်အမင်း တိကျမှုနှင့် အလွန်အမင်း ပတ်ဝန်းကျင်တို့ ဆုံရာတွင် လုပ်ဆောင်သည်။ epitaxy၊ crystal growth နှင့် အပူချိန်မြင့် အပူပေးစနစ်ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များသည် ပုံမှန်အားဖြင့် 1000°C ထက် ကျော်လွန်လေ့ရှိပြီး အပူချိန် အနည်းငယ်သာ ပြောင်းလဲမှုပင်လျှင် ဖလင်အထူတွင် တိုင်းတာနိုင်သော ကွဲပြားမှုများအဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲနိုင်သည်...ပိုပြီးဖတ်ပါ -
ဂရပ်ဖိုက် ဘိုင်ပိုလာ ပြားတွေက လောင်စာဆဲလ်တွေမှာ ဘယ်လိုအလုပ်လုပ်သလဲ။
I. စက်မှုလုပ်ငန်းတိုးတက်မှုတွင် ဂရပ်ဖိုက် ဘိုင်ပိုလာပြားများ၏ အဓိကအခန်းကဏ္ဍ “နှစ်ထပ်ကာဗွန်” ရည်မှန်းချက်များနှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်စီးပွားရေး လျင်မြန်စွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာမှုနောက်ခံတွင်၊ လောင်စာဆဲလ်များ (အထူးသဖြင့် PEM လောင်စာဆဲလ်များ) သည် သရုပ်ပြအဆင့်မှ ကြီးမားသောအသုံးချမှုသို့ ကူးပြောင်းနေပါသည်။ ခရီးသည်တင်ယာဉ်မှ...ပိုပြီးဖတ်ပါ -
လောင်စာဆဲလ်နည်းပညာတွင် ဂရပ်ဖိုက်ကို မည်သို့အသုံးချသနည်း။
အဆက်မပြတ်ပြောင်းလဲနေသော လျှပ်စစ်ဓာတုစွမ်းအင်စနစ်များတွင် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာသည် ထူးခြားသောဖွဲ့စည်းပုံ၊ လျှပ်စစ်နှင့် ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများရှိသော စွယ်စုံရကာဗွန်အခြေခံပစ္စည်းတစ်ခုအဖြစ် ထင်ရှားသည်။ လောင်စာဆဲလ်ဗိသုကာလက်ရာအားလုံးသည် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာကို အသုံးပြုခြင်းမရှိသော်လည်း၊ ၎င်း၏အခန်းကဏ္ဍ - အထူးသဖြင့် အဆင့်မြင့်လောင်စာဆဲလ် ...ပိုပြီးဖတ်ပါ -
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများ- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် အရေးကြီးသော လုပ်ငန်းစဉ် အစိတ်အပိုင်းများ
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အဓိကပစ္စည်းနှင့် အစိတ်အပိုင်းများစွာသည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများသည် ဝေဖာများ သို့မဟုတ် ပစ်မှတ်များကဲ့သို့ အာရုံစိုက်မှုများစွာ မရရှိသော်လည်း၊ ၎င်းတို့သည် မြင့်မားသောအပူချိန် လုပ်ငန်းစဉ်၊ epitaxia... တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ အဆက်မပြတ်ပါဝင်ပါသည်။ပိုပြီးဖတ်ပါ -
မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော semiconductor etching အတွက် etching အတွက် CVD coating focus ring သည် အဘယ်ကြောင့် အရေးကြီးသနည်း။
CVD အပေါ်ယံလွှာ အာရုံစူးစိုက်မှုကွင်းများသည် ပလာစမာနယ်နိမိတ်များကို တည်ငြိမ်စေပြီး wafer တစ်လျှောက်တွင် တစ်ပြေးညီအိုင်းယွန်းဖြန့်ဖြူးမှုကို သေချာစေခြင်းဖြင့် ခေတ်သစ် semiconductor etching တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် ၎င်းတို့သည် အဆင့်မြင့် node များအတွက် အဘယ်ကြောင့် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်ကို ရှင်းပြထားပြီး၊ etch တစ်ပြေးညီဖြစ်မှု၊ CD ထိန်းချုပ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှု... တို့အပေါ် ၎င်းတို့၏သက်ရောက်မှုကို မီးမောင်းထိုးပြထားသည်။ပိုပြီးဖတ်ပါ -
တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှု မီးဖို၏ အူတိုင်- မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုရှိသော ဂရပ်ဖိုက် အပူစက်ကွင်းများ၏ လျှို့ဝှက်ချက်များကို ဖော်ထုတ်ခြင်း
တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုမီးဖို၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းမှာ ပုံဆောင်ခဲထုတ်လုပ်မှုတွင် အဓိကပစ္စည်းကိရိယာများဖြစ်ပြီး ၎င်း၏ အပူစက်ကွင်းဒီဇိုင်းသည် ပုံဆောင်ခဲ၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် အရည်အသွေးကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ မီးဖို၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းအနေဖြင့်၊ မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ဂရပ်ဖိုက်အပူစက်ကွင်းသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်း၊ မြင့်မားသော...ပိုပြီးဖတ်ပါ