ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းလိုအပ်ချက်များသည် အထူးမြင့်မားပြီး ဂရပ်ဖိုက်အမှုန်အမွှားအရွယ်အစားသည် တိကျမှုမြင့်မားခြင်း၊ အပူချိန်ခံနိုင်ရည်မြင့်မားခြင်း၊ ခိုင်ခံ့မှုမြင့်မားခြင်း၊ ဆုံးရှုံးမှုနည်းပါးခြင်းနှင့် အခြားအားသာချက်များဖြစ်သည့် sintered graphite ထုတ်ကုန်မှိုများကဲ့သို့သော အားသာချက်များရှိသည်။တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းကိရိယာများ (အပူပေးစက်များနှင့် ၎င်းတို့၏ sintered dies များအပါအဝင်) သည် ထပ်ခါတလဲလဲ အပူပေးခြင်းနှင့် အအေးပေးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်သောကြောင့် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးချဲ့ရန်အတွက် အသုံးပြုသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများသည် တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိသော သက်ရောက်မှုလုပ်ဆောင်ချက်ရှိရန် ပုံမှန်အားဖြင့် လိုအပ်ပါသည်။
01 တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားမှုအတွက် ဂရပ်ဖိုက် ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားစေရန်အသုံးပြုသော လုပ်ငန်းစဉ်အားလုံးသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ချေးတက်နိုင်သောပတ်ဝန်းကျင်အောက်တွင် လည်ပတ်နေပါသည်။ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုမီးဖို၏ အပူဆုံးဇုန်တွင် အပူဒဏ်ခံနိုင်သောနှင့် ချေးတက်နိုင်သော မြင့်မားသောသန့်စင်သည့် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည့် အပူပေးစက်၊ ခွက်၊ လျှပ်ကာဆလင်ဒါ၊ လမ်းညွှန်ဆလင်ဒါ၊ အီလက်ထရုတ်၊ ခွက်ကိုင်ဆောင်ကိရိယာ၊ အီလက်ထရုတ်ခွံမာစသည်တို့ တပ်ဆင်ထားလေ့ရှိသည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် ပုံဆောင်ခဲထုတ်လုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများ၏ ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး ၎င်းတို့ကို တစ်ခုချင်းစီ သို့မဟုတ် အစုံလိုက် ထောက်ပံ့ပေးနိုင်သည်၊ သို့မဟုတ် ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များအရ အရွယ်အစားအမျိုးမျိုးရှိသော ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများကို စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်နိုင်ပါသည်။ ထုတ်ကုန်များ၏ အရွယ်အစားကို နေရာတွင် တိုင်းတာနိုင်ပြီး ပြီးမြောက်ထားသော ထုတ်ကုန်များ၏ ပြာပါဝင်မှု နည်းပါးနိုင်ပါသည်။၅ ppm ထက်။
၀၂ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxy အတွက် ဂရပ်ဖိုက်ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
Epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုသည်မှာ single crystal substrate ပေါ်ရှိ substrate နှင့် တူညီသော lattice အစီအစဉ်ရှိသော single crystal ပစ္စည်းအလွှာတစ်ခု ကြီးထွားလာခြင်းကို ရည်ညွှန်းသည်။ epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်တွင် wafer ကို graphite disk ပေါ်တွင် တင်ထားသည်။ graphite disk ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးသည် wafer ၏ epitaxial အလွှာ၏ အရည်အသွေးတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ epitaxial ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်တွင် အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော graphite နှင့် SIC coating ပါရှိသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော graphite base များစွာ လိုအပ်ပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့ကုမ္ပဏီ၏ semiconductor epitaxy အတွက် ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံသည် အသုံးချမှုအမျိုးမျိုးရှိပြီး စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အသုံးများသော ပစ္စည်းကိရိယာအများစုနှင့် ကိုက်ညီနိုင်ပြီး မြင့်မားသော သန့်ရှင်းမှု၊ တစ်ပြေးညီ အပေါ်ယံလွှာ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း၊ ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတည်ငြိမ်မှု မြင့်မားခြင်းတို့ ရှိပါသည်။
၀၃ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းမှုအတွက် ဂရပ်ဖိုက်ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းဆိုသည်မှာ ဘိုရွန်၊ ဖော့စဖရပ်စ်နှင့် အာဆင်းနစ်တို့၏ ပလာစမာရောင်ခြည်ကို စွမ်းအင်တစ်ခုအထိ အရှိန်မြှင့်ပြီးနောက် ဝေဖာပစ္စည်း၏ မျက်နှာပြင်အလွှာထဲသို့ ထိုးသွင်းကာ မျက်နှာပြင်အလွှာ၏ ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများကို ပြောင်းလဲစေသည့် လုပ်ငန်းစဉ်ကို ရည်ညွှန်းသည်။ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းသည့် ကိရိယာ၏ အစိတ်အပိုင်းများကို အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ကောင်းမွန်ခြင်း၊ အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကောင်းမွန်ခြင်း၊ အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်ကြောင့် ချေးခြင်းနည်းပါးခြင်းနှင့် မသန့်စင်မှုပါဝင်မှုနည်းပါးသော မြင့်မားသောသန့်စင်သည့်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ရမည်။ မြင့်မားသောသန့်စင်သည့် ဂရပ်ဖိုက်သည် အသုံးချမှုလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပြီး အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းသည့် ကိရိယာ၏ ပျံသန်းမှုပြွန်၊ အပေါက်အမျိုးမျိုး၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖုံးများ၊ ပြွန်များ၊ ရောင်ခြည်အဆုံးကိရိယာများ စသည်တို့အတွက် အသုံးပြုနိုင်သည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းသည့်စက်အမျိုးမျိုးအတွက် ဂရပ်ဖိုက်အကာအကွယ်အဖုံးကို ပံ့ပိုးပေးရုံသာမက၊ မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ဂရပ်ဖိုက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းများနှင့် သတ်မှတ်ချက်များအမျိုးမျိုးရှိသော မြင့်မားသောချေးခံနိုင်ရည်ရှိသော အိုင်းယွန်းရင်းမြစ်များကိုလည်း ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။ သက်ဆိုင်သော မော်ဒယ်များ- Eaton၊ Azcelis၊ Quatum၊ Varian၊ Nissin၊ AMAT၊ LAM နှင့် အခြားစက်ပစ္စည်းများ။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကိုက်ညီသော ကြွေထည်၊ တန်စတင်၊ မိုလစ်ဒီနမ်၊ အလူမီနီယမ်ထုတ်ကုန်များနှင့် အလွှာပါးများပါရှိသော အစိတ်အပိုင်းများကိုလည်း ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။
04 ဂရပ်ဖိုက်လျှပ်ကာပစ္စည်းများနှင့် အခြား
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုသော အပူလျှပ်ကာပစ္စည်းများတွင် ဂရပ်ဖိုက်မာကျောသောအလွှာ၊ ပျော့ပျောင်းသောအလွှာ၊ ဂရပ်ဖိုက်သတ္တုပြား၊ ဂရပ်ဖိုက်စက္ကူနှင့် ဂရပ်ဖိုက်ကြိုးတို့ ပါဝင်သည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ ကုန်ကြမ်းပစ္စည်းအားလုံးသည် တင်သွင်းလာသော ဂရပ်ဖိုက်များဖြစ်ပြီး ဖောက်သည်၏ လိုအပ်ချက်များ၏ သတ်မှတ်ထားသော အရွယ်အစားအလိုက် ဖြတ်တောက်နိုင်သည် သို့မဟုတ် တစ်ခုလုံးရောင်းချနိုင်သည်။
ကာဗွန်-ကာဗွန်ဗန်းကို နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံး monocrystalline silicon နှင့် polycrystalline silicon ဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် film coating အတွက် carrier အဖြစ်အသုံးပြုသည်။ လုပ်ဆောင်ပုံမှာ silicon chip ကို CFC ဗန်းထဲသို့ထည့်ပြီး မီးဖိုပြွန်ထဲသို့ပို့ကာ film coating ကို လုပ်ဆောင်သည်။
