Siliciumcarbide wafercassette met lange levensduur en SiC-coating

Eigenschappen van gerekristalliseerd siliciumcarbide

Geherkristalliseerd siliciumcarbide (R-SiC) is een hoogwaardig materiaal met een hardheid die alleen door diamant wordt overtroffen. Het wordt gevormd bij een hoge temperatuur van meer dan 2000 °C. Het behoudt veel uitstekende eigenschappen van SiC, zoals hoge temperatuurbestendigheid, sterke corrosiebestendigheid, uitstekende oxidatiebestendigheid en goede thermische schokbestendigheid.

● Uitstekende mechanische eigenschappen. Geherkristalliseerd siliciumcarbide heeft een hogere sterkte en stijfheid dan koolstofvezel, een hoge slagvastheid, kan goed presteren in extreme temperaturen en biedt een beter tegenwicht in diverse situaties. Bovendien is het flexibel en raakt het niet snel beschadigd door rekken en buigen, wat de prestaties aanzienlijk verbetert.

● Hoge corrosiebestendigheid. Geherkristalliseerd siliciumcarbide heeft een hoge corrosiebestendigheid tegen diverse media, kan erosie van diverse corrosieve media voorkomen, behoudt zijn mechanische eigenschappen langdurig en heeft een sterke hechting voor een langere levensduur. Bovendien heeft het een goede thermische stabiliteit, kan het zich aanpassen aan een bepaald temperatuurbereik en verbetert het de toepassingseffecten.

● Sinteren krimpt niet. Omdat het sinterproces niet krimpt, veroorzaakt geen restspanning vervorming of scheurvorming in het product en kunnen onderdelen met complexe vormen en hoge precisie worden vervaardigd.