CVD siliciumcarbide gecoate grafietring

Korte beschrijving:

VET Energy siliciumcarbide-gecoate grafietring is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een lange periode. Het heeft een zeer goede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid:	1,85 g/cm3
Elektrische weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore-hardheid:	58
As:	<5 ppm
Thermische geleidbaarheid:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Wij leveren diverse susceptoren en grafietcomponenten voor alle gangbare epitaxiereactoren. Ons productaanbod omvat cilindersusceptoren voor LPE-units, pancake-susceptoren voor LPE-, CSD- en Gemini-units, en enkelvoudige wafersusceptoren voor toegepaste en ASM-units.

Door sterke partnerschappen met toonaangevende OEM's, materiaalkennis en productiekennis te combineren, biedt vet het optimale ontwerp voor uw toepassing.

VET Energie is deechte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating,kan leverenverscheideneop maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiaaloplossingen biedenvoor jou.

FKenmerken van onze producten:

1. Hoge temperatuur oxidatiebestendigheid tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid enthermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Ik denk dat dit het geval is / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermaikGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1