CVD siliciumcarbide gecoate grafietring

Korte beschrijving:

De VET Energy siliciumcarbide gecoate grafietring is een hoogwaardig product dat is ontworpen om gedurende een langere periode consistente en betrouwbare prestaties te leveren. Het beschikt over een uitstekende hittebestendigheid en thermische uniformiteit, een hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen in de waferverwerking.

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid:	1,85 g/cm3
Elektrische weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-hardheid:	58
As:	<5 ppm
Thermische geleidbaarheid:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Wij leveren diverse susceptoren en grafietcomponenten voor alle gangbare epitaxie-reactoren. Ons productassortiment omvat tonvormige susceptoren voor LPE-eenheden, platte susceptoren voor LPE-, CSD- en Gemini-eenheden, en susceptoren voor afzonderlijke wafers voor toegepaste en ASM-eenheden.

Door sterke partnerschappen met toonaangevende OEM's te combineren met materiaalkennis en productie-knowhow, biedt vet het optimale ontwerp voor uw toepassing.

VET Energy is deEchte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating.kan leverenverscheideneOp maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiaaloplossingen bieden.voor jou.

FKenmerken van onze producten:

1. Bestand tegen oxidatie bij hoge temperaturen tot 1700 °C.℃.
2. Hoge zuiverheid enthermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: bestand tegen zuren, basen, zouten en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能 Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10 μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Geen probleem / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 GPA 4-punts buiging, 1300℃
导热系数 / ThermalGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1