Waferboot van gerecrystalliseerd siliciumcarbide met CVD-coating

Korte beschrijving:

De VET Energy waferhouder van gerecrystalliseerd siliciumcarbide is een hoogwaardig product dat is ontworpen om gedurende een langere periode consistente en betrouwbare prestaties te leveren. Het heeft een uitstekende hittebestendigheid en thermische uniformiteit, een hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen in de waferverwerking.


Productdetails

Productlabels

Eigenschappen van geherkristalliseerd siliciumcarbide

Gerekristalliseerd siliciumcarbide (R-SiC) is een hoogwaardig materiaal met een hardheid die alleen onderdoet voor die van diamant. Het wordt gevormd bij een hoge temperatuur van meer dan 2000 °C. Het behoudt veel uitstekende eigenschappen van SiC, zoals hoge temperatuursterkte, sterke corrosiebestendigheid, uitstekende oxidatiebestendigheid, goede thermische schokbestendigheid, enzovoort.

● Uitstekende mechanische eigenschappen. Gerekristalliseerd siliciumcarbide heeft een hogere sterkte en stijfheid dan koolstofvezel, een hoge slagvastheid, presteert goed in extreme temperaturen en biedt een betere tegengewichtfunctie in diverse situaties. Bovendien is het flexibel en raakt het niet snel beschadigd door rekken en buigen, wat de prestaties aanzienlijk verbetert.

● Hoge corrosiebestendigheid. Gerekristalliseerd siliciumcarbide heeft een hoge corrosiebestendigheid ten opzichte van diverse media, kan erosie door verschillende corrosieve media voorkomen, behoudt zijn mechanische eigenschappen lange tijd en heeft een sterke hechting, waardoor het een langere levensduur heeft. Bovendien heeft het een goede thermische stabiliteit, kan het zich aanpassen aan een bepaald temperatuurbereik en verbetert het de toepassingsmogelijkheden.

● Bij sinteren krimpt het materiaal niet. Doordat er tijdens het sinterproces geen krimp optreedt, is er geen restspanning die vervorming of scheuren in het product kan veroorzaken. Hierdoor kunnen onderdelen met complexe vormen en een hoge precisie worden vervaardigd.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Fysische eigenschappen van gerecrystalliseerd siliciumcarbide

性质 / Eigendom

典型数值 / Typische waarde

Ik denk dat dit het geval is/ Bedrijfstemperatuur (°C)

1600 °C (met zuurstof), 1700 °C (reducerende omgeving)

SiC含量/ SiC-gehalte

> 99,96%

自由Si含量/ Gratis Si-inhoud

< 0,1%

Er zijn geen producten gevonden die aan je zoekcriteria voldoen/Bulkdichtheid

2,60-2,70 g/cm³3

气孔率/ Schijnbare porositeit

< 16%

抗压强度/ Druksterkte

> 600MPa

常温抗弯强度/Koudbuigsterkte

80-90 MPa (20°C)

Er zijn geen producten gevonden die aan je zoekcriteria voldoenWarmbuigsterkte

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Thermische uitzetting bij 1500 °C

4.70 10-6/°C

导热系数/Thermische geleidbaarheid bij 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Elasticiteitsmodulus

240 GPa

Ik denk dat dit het geval is/ Thermische schokbestendigheid

Uitermate goed

VET Energy is deEchte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating.kan leverenverscheideneOp maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiaaloplossingen bieden.voor jou.

We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds geavanceerdere materialen te leveren.EnZe hebben een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld die de hechting tussen de coating en het substraat versterkt en de kans op loslaten verkleint.

Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能

Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating

性质 / Eigendom

典型数值 / Typische waarde

Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Dikte

3,21 g/cm³

硬度 / Hardheid

2500 维氏硬度(500g belasting)

晶粒大小 / Korrelgrootte

2~10 μm

纯度 / Chemische zuiverheid

99,99995%

热容 / Warmtecapaciteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatietemperatuur

2700℃

Geen probleem / Buigsterkte

415 MPa RT 4-punts

杨氏模量 / Young's modulus

430 GPA 4-punts buiging, 1300℃

导热系数 / ThermalGeleidbaarheid

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Wij heten u van harte welkom in onze fabriek. Laten we de mogelijkheden bespreken!

生产设备

 

公司客户

 


  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp online chat!