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Barco de grafite

O suporte de grafite para PECVD é uma peça fundamental para o transporte de wafers de silício no processo de deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD). Ele é utilizado principalmente no processo de passivação e preparação da camada antirreflexo de células solares.

 Barco de grafite PECVD - 副本

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