Barco de quartzo de alta pureza para processamento de wafers

Barco de lâmina de quartzoÉ uma ferramenta essencial para a transferência e o posicionamento estáveis ​​de wafers em processos de alta temperatura, sendo utilizada na fabricação de semicondutores, na produção de células fotovoltaicas e na pesquisa e desenvolvimento de materiais avançados. Este produto é fabricado com sílica fundida (SiO2) de altíssima pureza, apresentando excelente resistência à temperatura, estabilidade química e baixíssima contaminação por metais. É adequado para fornos de difusão, fornos de oxidação, PECVD/LPCVD e outros equipamentos, sendo amplamente utilizado em revestimento de wafers, implantação iônica, recozimento em alta temperatura e outros processos essenciais.

Principais vantagens do barco de quartzo da VET Energy:

• Material de altíssima pureza
  Pureza ≥99,99%: Teor de impurezas (Na, K, Fe, etc.) <5 ppm, evitando a contaminação do wafer e garantindo o rendimento do chip.
  Baixa precipitação e adsorção: a superfície é superpolida (Ra≤0,4μm) para reduzir a adesão de partículas e resíduos gasosos.
• Estabilidade em altas temperaturas
  Limite de temperatura: Temperatura de trabalho contínua de 1100℃, pico de curto prazo de 1300℃, sem deformação, sem precipitação de cristais.
  Baixo coeficiente de expansão térmica (5,5x10-7/℃), excelente resistência ao choque térmico, adaptável a processos de rápida elevação e queda de temperatura (ex.: recozimento rápido RTP).
• Projeto estrutural preciso
  Precisão da ranhura ±0,1 mm: compatível com wafers de 2” a 12”, erro de uniformidade de espaçamento <0,05 mm, garantindo que os wafers não apresentem desalinhamento.
  Alta capacidade de carga: Carga máxima de 50 wafers (em termos de wafers de 12") em um único compartimento, permitindo a transferência estável de wafers finos (≥100 µm).
• Inércia química
  Resistência à corrosão: Resistente à corrosão por ácidos (exceto HF), álcalis e solventes orgânicos, compatível com o processo de limpeza CMP.
  Excelente estanqueidade a gases: Taxa de vazamento <5x10-10 Pa.m3/s, adequada para ambientes de vácuo e gases de proteção.
• Longa vida útil e facilidade de manutenção
  Vida útil ≥ 5000 ciclos (condições normais de trabalho), a superfície pode ser limpa e reutilizada repetidamente, reduzindo o custo total.
  Design modular: permite a substituição parcial (por exemplo, de um único dente da embarcação), reduzindo o tempo de inatividade.

Oferecemos superfícies transparentes e foscas, de acordo com as necessidades do cliente:

A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. é uma empresa de alta tecnologia focada na produção e venda de materiais avançados de ponta, incluindo grafite, carbeto de silício, cerâmica e tratamentos de superfície como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Esses produtos são amplamente utilizados em células fotovoltaicas, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, entre outros.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais e desenvolveu diversas tecnologias patenteadas para garantir o desempenho e a qualidade dos produtos, podendo também oferecer aos clientes soluções profissionais em materiais.