Ho petsoha ha susceptor ea graphite le ho bola ha eona haholo-holo ho bakoa ke khatello ea mocheso, lik'hemik'hale tse amanang le likhase tsa ts'ebetso, le litšila tsa thepa. Ho thibela likoli tsena ho kenyelletsa ho ntlafatsa khetho ea thepa, liparamente tsa ts'ebetso, le mekhoa ea tlhokomelo. Tlhahlobo le thibelo ea likoli tse sebetsang ka potlako li eketsa nako ea bophelo ea susceptor ea graphite haholo. Mokhoa ona o boetse o fokotsa nako ea ho se sebetse 'me o netefatsa boleng bo tsitsitseng ba ts'ebetso.
Lintlha tsa Bohlokoa
- Li-susceptor tsa graphite lia petsoha ka lebaka la liphetoho tse potlakileng tsa mocheso, liphoso tsa thepa, kapa ho sebetsana ka thata. Tlhokomelo e nepahetseng le khetho e nepahetseng ea thepa li thibela mathata ana.
- Ho senyeha ha di-susceptor tsa graphite ho etsahala ka lebaka la diketso tsa dikhemikhale tse amanang le dikgase kapa ditshila. Dikobo tse ikgethang le dikgase tse hlwekileng di a di sireletsa.
- Ho kopanya thepa e nepahetseng, ho e tshwara ka hloko le ho e roala ka tsela e sireletsang ho thusa di-susceptor tsa graphite ho nka nako e telele. Sena se boetse se etsa hore ditshebetso tsa indasteri di sebetse hantle.
Ho Utloisisa Liphoso tsa Graphite Susceptor
Graphite Susceptor ke eng?
Sesebelisi sa graphite ke karolo ea bohlokoa lits'ebetsong tsa indasteri tse nang le mocheso o phahameng. E tšehetsa le ho futhumatsa li-substrate kapa li-wafer nakong ea mekhahlelo e fapaneng ea tlhahiso. Liindasteri li sebelisa likarolo tsena haholo lits'ebetsong tse hlokang botsitso bo feteletseng ba mocheso le khanyetso ea lik'hemik'hale. Mohlala, ho epitaxy le MOCVD, lisebelisoa tsa graphite li tšehetsa li-substrate nakong ea ho beoa ha filimi e tšesaane. Mekhoa ena e kenyelletsadithempereichara tse phahameng, vacuum e phahameng, le di-precursors tse matla tsa kgase, tse hlokang hore ho se be le tshilafatsoIndasteri ea semiconductor e boetse e sebelisa li-electrode tsa graphite le li-screen tse sireletsang ho kenngoeng ha li-ion ho fetola sebopeho sa substrate.Li-susceptor tsa graphite tse koahetsoeng ka SiC ke likarolo tsa bohlokoa lisebelisoa tsa MOCVD, e tšehetsang le ho futhumatsa li-substrate tsa kristale e le 'ngoe. Boleng ba tsona bo ama ka ho toba ho tšoana le bohloeki ba thepa ea filimi. Lisebelisoa tse ling li kenyelletsasilicon epitaxy, lits'ebetso tsa ho holisa kristale, ho hlaba ha plasma, le tlhahiso ea chip ea LED.
Ho Khetholla ho Petsoha ha Graphite Susceptors
Ho petsoha ke bothata bo tloaelehileng ho li-susceptor tsa graphite. Ho pepesehela mocheso o feteletseng nako e telele le tikoloho e arabelang hangata ho baka sekoli sena. Litlhahlobo tsa kamehla li bohlokoa bakeng sa ho khetholla mefokolo ea sebopeho. Tlhahlobo ea pono e thusa ho lemoha ho se tsitse ha bokaholimo joalo ka mapetso, lipululana, kapa botenya bo sa lekanang. Matšoao ana a bonahalang a bontša mathata a ka bang teng a botšepehi ba sebopeho. Bakeng sa tlhahlobo e qaqileng haholoanyane,tlhahlobo ea microscope e senola lintlha tse qaqileng haholoanyaneMokhoa ona o ka senola mapetso a manyane kapa ho se tsitse ka hare ho sebopeho sa thepa tse sa bonahaleng ka mahlo a hlobotseng.
Ho Khetholla ho Silafala ha Graphite Susceptors
Ho senyeha ha di-susceptor tsa graphite ho bonahala e le ho senyeha ha thepa ka lebaka la diketso tsa dikhemikhale. Ditshupo tse bonahalang hangata di kenyeletsa ho taboha ha bokahodimo, kgoholeho ya mobu, le ho fetoha ha mmala. Bokahodimo ba susceptor bo ka bonahala bo le makukuno kapa bo sa leka-lekanang, bo bontshang tahlehelo ya thepa. Diphetoho mmalang di ka boela tsa bontsha phetoho ya dikhemikhale ya graphite. Maemong a tebileng, sebopeho kapa boholo ba susceptor bo ka fetoha ka ho hlaka, ba beha tshebetso ya yona kotsing le botshepehi ba sebopeho. Matshwao ana a supa tlhaselo ya dikhemikhale ho tswa ho dikhase tsa tshebetso kapa ditshila.
Lisosa tsa Motheo tsa ho Petsoha ha Graphite Susceptor
Khatello ea Mocheso le ho Potoloha ha Baesekele
Ho feto-fetoha ha mocheso ka potlako ho tlatsetsa haholo ho petsoheng ha li-susceptors tsa graphite. Likarolo tsena hangata li ba le lipotoloho tse matla tsa ho futhumatsa le ho pholisa nakong ea ts'ebetso. Lipotoloho tse joalo li baka khatello ea mocheso ka har'a thepa. Ha thepa e atoloha 'me e honyela ka mokhoa o sa lekanang, e hlahisa matla a ka hare a ka lebisang ho qaleng le ho ata ha mapetso. Mohlala, sekoahelo sa Tantalum Carbide (TaC) se ntlafatsa haholo ho hanyetsa ho ts'oaroa ha mocheso ha li-crucible tsa graphite. Seaparo sena se fokotsa kotsi ea ho petsoha kapa ho hloleha ha sebopeho nakong ea liphetoho tse potlakileng tsa mocheso. Se boloka botsitso ba sebopeho nakong ea lipotoloho tsa ho futhumatsa kapa tsa ho pholisa ka tšohanyetso,ho thibela mapetso a bokaholimo le khoholeho tlas'a maemo a mocheso o feteletsengLiteko tsa ho tlosa litšila li bontšitse hore lesela la TaC le ntse le sa senyeha ka khoholeho e sa reng letho 'me ha ho na mapetso a bokaholimo kamora metsotsoana e 120 tlas'a lelakabe la oxyacetylene. Ka mokhoa o ts'oanang, silicon carbide e bontša botsitso nakong ea lipotoloho tsa ho futhumatsa le ho pholisa tse ka phetoang.Lipotoloho tse 25 tsa ho futhumatsa/ho pholisa, e bolokile mocheso o phahameng oa karolelano oa 329 ± 55 °C, ka tlhahlobo e sa bonts'eng tahlehelo e kholo ho conductivity ea mocheso kapa permittivity.
Thepa ea Thepa le Liphoso tsa Tlhahiso
Thepa ea tlhaho ea thepa ea graphite le liphoso life kapa life tse hlahisoang nakong ea tlhahiso le tsona li bapala karolo ea bohlokoa ho petsoheng. Tlhaho ea anisotropic ea graphite e bolela hore thepa ea eona e fapana ho latela tataiso, e leng se etsang hore e be kotsing ea ho ba le khatello ea maikutlo. Litšila tsa thepa, likheo, kapa boima bo sa tsitsang li ka sebetsa e le lintho tse eketsang khatello ea maikutlo. Liphoso tsena li fetoha lintlha tse fokolang moo mapetso a ka thehoang habonolo tlas'a mojaro oa mocheso kapa oa mechini. Taolo e mpe ea boleng nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso e ka mpefatsa mathata ana, e leng se lebisang ho susceptor e nang le botsitso ba sebopeho ho tloha qalong.
Khatello ea Mekaniki le ho Sebetsana le Eona
Matla a mechini a kantle le ona a baka ho petsoha. Ho sebetsana ka tsela e sa lokelang nakong ea ho kenya, ho tlosa, kapa tlhokomelo ea kamehla ho ka baka khatello e kholo. Litlamorao tse sa lebelloang, ho theoha, kapa ho sebelisa khatello e sa lekanang li ka baka mapetso a manyenyane ao hamorao a fetohang mapetso a maholo. Moralo oa sistimi ka boeona le oona o ka kenya letsoho; tšehetso e sa lekaneng kapa mekhoa ea ho khomarela e ka beha khatello e sa hlokahaleng ea mechini ho susceptor ea graphite nakong ea ts'ebetso, e leng se lebisang ho hloleheng pele ho nako.
Lisosa tsa Motheo tsa ho Robeha ha Graphite Susceptor
Likarabelo tsa Lik'hemik'hale ka Likhase tsa Ts'ebetso
Li-susceptor tsa graphite li na le thepa ea lik'hemik'hale e tsitsitseng haholo. Li bontša khanyetso e ntle ho boholo ba likhase tse senyang le li-reagent tsa lik'hemik'hale. Leha ho le joalo, likhase tse itseng tsa ts'ebetso li ka qala liketso tse senyang. Mohlala,ammonia (NH3) le chlorine (Cl2)li tsebahala ka ho arabela le graphite mochesong o phahameng. Likarabelo tsena li senya thepa ha nako e ntse e ea. Ho feta moo, li-susceptor tsa graphite li arabela le haedrojene mochesong o phahameng,ho fihlela ho 2100 K. Karabelo ena e bopa mefuta e fapaneng ya hydrocarbon. Ts'ebetso ena e bohlokwa haholo ditshebedisong tse kang chemical vapor deposition (CVD) ya α-silicon carbide. Mona, susceptor ka boyona e ka hlahisa hydrocarbon, e susumetsa sebopeho sa kgase sebakeng sa kgolo.
Tšilafalo le Litšila
Tšilafalo le litšila li potlakisa ts'enyeho haholo ho li-susceptor tsa graphite.Litšila tsa tšepe li ka potlakisa oxidation ea graphiteka mocheso o phahameng. Sena se lebisa ho hoholeheng ho hoholo ha dikarolo.Litšila tse sa bonahaleng tse fumanehang ka har'a li-susceptor tsa graphite li potlakisa ts'enyehoka ho sebetsa e le litsi tsa catalytic. Haholo-holo, litšila tsa tšepe tse kang Na, K, Ca, Al, le Ti ha li aroloe ka ho lekana. Li atisa ho arohana ka har'a li-porosity tsa matrix ea graphite kapa li hlaha e le li-inclusions tsa lintlha tse arohaneng. Ha litšila tsena li lula maboteng a li-porosity tsena, li potlakisa haholo oxidation ea graphite. Phello ena ea catalytic e fokotsa khanyetso ea oxidation ea thepa.
Litlamorao tsa Mocheso le Khatello
Mocheso le kgatello di phetha karolo ya bohlokwa sekgahleng le boholong ba ho bola. Dithempereichara tse phahameng ka kakaretso di eketsa matla a kinetic a dimolek'hule tse arabelang. Sena se potlakisa diketso tsa dikhemikhale pakeng tsa dikhase tsa tshebetso le thepa ya graphite susceptor. Dithempereichara tse phahameng di ka boela tsa fetola sebopeho sa thepa, tsa etsa hore e be kotsing ya tlhaselo ya dikhemikhale. Ka ho tshwanang, maemo a itseng a kgatello a ka ama mahloriso a dikhase tse arabelang hodima bokahodimo ba susceptor. Sena se ama ka ho toba sekgahla sa ho bola. Mocheso o motle le taolo ya kgatello di bohlokwa ho fokotsa ditlamorao tsena tse senyang.
Ho Thibela ho Petsoha ha Graphite Susceptors
Ho Ntlafatsa Tsamaiso ea Thermal
Taolo e sebetsang hantle ea mocheso ke ea bohlokoa bakeng sa ho thibela mapetso a li-susceptor tsa graphite. Bahlahisi ba tlameha ho kenya tšebetsong sekhahla se laoloang sa ho futhumatsa le ho pholisa nakong ea ts'ebetso. Liphetoho tse potlakileng tsa mocheso li baka khatello e kholo ea mocheso, e leng se ka lebisang ho qaleng ha mapetso le ho ata ha 'ona. Li-ramp tsa mocheso butle-butle li lumella thepa ho atoloha le ho honyela ka ho lekana, ho fokotsa khatello ea ka hare. Ho futhumatsa li-susceptor pele li li kenya libakeng tse nang le mocheso o phahameng le hona ho thusa ho fokotsa ho tšoha ha mocheso. Ho feta moo, ho netefatsa hore kabo ea mocheso o ts'oanang holim'a bokaholimo ba li-susceptor e thibela libaka tse chesang tsa sebakeng seo. Libaka tsena tse chesang li baka katoloso le ho honyela ho fapaneng, e leng se ka bakang ho petsoha.
Ho Khetha Thepa e Nepahetseng ea Graphite Susceptor
Ho kgetha thepa e nepahetseng ya graphite ke ntho ya bohlokwa ho thibeleng ho petsoha. Ditshebediso tse fapaneng di hloka thepa e itseng. Graphite ya dithollo tse kobehileng, mohlala, e bontsha matla, ho tshwarella le ho mamella, e leng se etsang hore e lokele dikarolo tse kgolo. Menyetla ya yona e kgolo le boholo ba dikarolwana tse kgolo di tlatsetsa ho haneleng ho tshwarwa ke mocheso, e leng se e dumellang ho sebetsana le diphetoho tse matla tsa mocheso ka katleho. Dithoto tse akaretsang tsa graphite di kenyeletsa matla a ho hatella a phahameng, ho tloha hoLipalo tse 11,000 ho isa ho tse 38,000 ka lisenthimithara tse sekwere, e leng se etsang hore e be ntle bakeng sa lits'ebetso tse hlokang ho hanela khatello e boima. Leha ho le joalo, graphite e fokola ka tsitsipano ebile e robeha habonolo, e leng se ka lebisang ho qhetsoheng ha ho etsoa machining.
Ha ho kgethwa thepa e loketseng ya graphite susceptor, ho na le maemo a mmalwa a tataisang qeto. Taba ya pele, hlahloba ditlhoko tsa tshebetso ka botlalo, ho kenyeletswa le ditlhoko tsa mocheso o sebetsang, sepakapaka le bohloeki. Maemo a kangASTM F1308-98(2023)thusa ho lekola lintho tse ka ntšoang tse feto-fetohang ho netefatsa taolo ea tšilafalo. Ho bapisa thepa ea thepa le litlhoko tsa ts'ebeliso ho kenyelletsa lintlha tsa tekheniki. Tsena li kenyelletsa ho fetola thepa ea makenete ka metsoako ea lik'hemik'hale bakeng sa ho futhumatsa hantle tlas'a maemo a itseng a matla a makenete. Ho beha pele tahlehelo ea hysteresis ho netefatsa ho futhumatsa ho sebelisang matla ho bolokang matla. Ho khetha thepa e kang spinel ferrite ho fana ka botsitso bo ntlafetseng ba lik'hemik'hale le mocheso ho feta magnetite. Ho qoba li-susceptor tsa tšepe tse senyehang libakeng tse thata le hona ho bohlokoa. Ho ntlafatsa ho khanna ha mocheso ho netefatsa kabo e ts'oanang ea mocheso. Ho nahana ka coefficient of thermal expansion (CTE) ho boloka botsitso ba litekanyo nakong ea potoloho ea mocheso. Ho lekola mocheso o itseng le khanyetso ea ho thothomela ha mocheso ho bohlokoa bakeng sa liphetoho tse potlakileng tsa mocheso. Qetellong, ho netefatsa ho khanna ha motlakase kapa thepa ea makenete hoa hlokahala bakeng sa ho futhumatsa ka mokhoa o atlehang.
Boleng ba thepa, ho kenyeletsoa bohloeki le ho tšoarella, ke habohlokoa bakeng sa bophelo ba motho ea tsubang le ts'ebetso ea hae, e leng se fokotsang likotsi tsa tšilafalo.Graphite e hloekileng haholoe netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng le liphetho tsa boleng bo holimo, haholo-holo lits'ebetsong tse hlokang taolo e nepahetseng. Khanyetso e ntlafalitsoeng ea oxidation e atolosa bophelo ba ts'ebeletso mochesong o phahameng, e fokotsa makhetlo a phetolo le litšenyehelo tsa tlhokomelo. Ho tsamaisa mocheso hoa hlokahala bakeng sa phetiso ea mocheso e sebetsang hantle le e ts'oanang, e fokotsa liphoso. Likhetho tsa ho iketsetsa, joalo ka ho etsa li-susceptor ho latela litlhoko tse itseng tsa lisebelisoa kapa ts'ebetso, ho ntlafatsa ho tenyetseha ha ts'ebetso. Katleho ea litšenyehelo e kenyelletsa ho lekola litšenyehelo tsohle tsa beng, ho kenyeletsoa theko ea theko, nako ea bophelo, le tlhokomelo, ho leka-lekanya ts'ebetso le tekanyetso. Tlhahiso e potlakileng le liketane tse tšepahalang tsa phepelo li thibela tieho ea tlhahiso. Tšehetso ea tekheniki le tšebeletso e tsoelang pele li netefatsa ts'ebeliso e ntle le tharollo e potlakileng ea mathata. Barekisi ba tsetelang thepa kapa meralo e mecha ba ka fana ka melemo ea tlholisano. Ho latela melao le litifikeiti, joalo ka litekanyetso tsa ISO, ho netefatsa ts'epo le polokeho.
Bakeng sa ho tšoarella ho eketsehileng,Ho roala ka SiC holim'a susceptor ea graphite waferE fana ka thepa e ntle ka ho fetisisa. E hahiloe ka SiC ea boemo bo holimo, e bontša ho khanna ha mocheso ka tsela e ikhethang le ho hanyetsa lik'hemik'hale, e e lumellang ho mamella mocheso o feteletseng le tikoloho e senyang. Thepa ea eona e matla e fana ka khanyetso e ntle ea ho tsofala le ho senyeha, e netefatsang nako e telele le ts'ebetso e tšepahalang.
Mehopolo ea Moralo le Tlhahiso bakeng sa Li-Susceptor tsa Graphite
Mekhoa e hlokolosi ea moralo le tlhahiso e fokotsa kotsi ea ho petsoha haholo. Baqapi ba lokela ho qoba likhutlo tse bohale le liphetoho tse potlakileng karolong e tšekaletseng, kaha likarolo tsena li baka lintlha tsa khatello ea maikutlo. Ho kenyelletsa mahlaseli a mangata le liphetoho tse boreleli ho thusa ho aba khatello ea maikutlo ka ho lekana ho pholletsa le thepa. Jeometri ka kakaretso ea susceptor e lokela ho boela e ikarabella bakeng sa katoloso le ho honyela ha mocheso, e leng se lumellang motsamao ntle le ho baka khatello e feteletseng. Nakong ea tlhahiso, mehato e tiileng ea taolo ea boleng e thibela ho kenngoa ha litšila tsa thepa, likheo, kapa bongata bo sa tsitsang. Liphoso tsena li sebetsa e le lintlha tse fokolang moo mapetso a ka bang teng habonolo. Mekhoa e tsoetseng pele ea tlhahiso, joalo ka tlhahiso ea isotropic graphite, e ka boela ea ntlafatsa ho tšoana ha thepa le ho fokotsa likarabo tsa khatello ea anisotropic.
Ho Sebetsana le ho Kenngwa ha Graphite Susceptors ka Nepo
Khatello ea mechine e bakoang ke ho sebetsana le ho kenya ka tsela e sa lokelang e ka lebisa ho petsoheng hang-hang kapa ka mokhoa o sa bonahaleng. Basebetsi ba tlameha ho latela melaoana e tiileng ea ho sebetsana le li-susceptor tsa graphite. Sena se kenyelletsa ho sebelisa lisebelisoa tse loketseng tsa ho phahamisa le meaho ea tšehetso ho thibela ho kobeha kapa khatello ea sebakeng seo. Ho koetlisa basebetsi ka mekhoa e nepahetseng ea ho kenya le ho tlosa ho fokotsa kotsi ea litlamorao tse sa lebelloang kapa ho khomarela ho sa lekanang. Li-susceptor li lokela ho lula li fumana tšehetso e lekanang holim'a bokaholimo ba tsona ho qoba ho baka lintlha tsa khatello. Ho boloka li-susceptor ka har'a liphutheloana tse sireletsang ho boetse ho thibela tšenyo e bakoang ke matla a kantle kapa mabaka a tikoloho pele ho sebelisoa.
Ho Thibela ho Tshabala ha Graphite Susceptors
Ho thibela ho bola ha di-susceptor tsa graphite ho hloka mokhoa o nang le mahlakore a mangata. Leano lena le kenyeletsa ho sebedisa dikoahelo tse sireletsang, ho laola dikhase tsa tshebetso, ho ntlafatsa diparamitha tsa tshebetso, le ho kenya tshebetsong tlhokomelo ya kamehla. Karolo e nngwe le e nngwe e bapala karolo ya bohlokwa ho atolosa nako ya bophelo ba di-susceptor le ho boloka botsitso ba tshebetso.
Liaparo le Mekhoa ea ho Phekola Li-Susceptor tsa Graphite
Ho sebelisa lipehelo tse sireletsang le kalafo ea holim'a metsi ho ntlafatsa haholo ho hanyetsa ho bola ha li-susceptor tsa graphite. Lipehelo tsena li sebetsa e le tšitiso, li sireletsa graphite tikolohong e mabifi ea lik'hemik'hale le mochesong o phahameng. Mefuta e 'maloa ea lipehelo e ipaka e sebetsa hantle ntlheng ena.
- Tantalum Carbide (TaC): Seaparo sena se fana ka botsitso bo ikhethang ba mocheso. Se sebetsa hantle e le thibelo khahlanong le oxidation, lik'hemik'hale le ho tsofala ha mechini.
- Liaparo tse kopantsoeng tsa Titanium Carbide-Tantalum Carbide (TiC-TaC): Liaparo tsena li ntlafatsa ho hanyetsa ho tsofala, haholo-holo ka litaba tse ntlafalitsoeng tsa TiC (mohlala, 8.0 wt%). Li boetse li fana ka matla a ntlafalitsoeng a mechini ka ho kopanya ho thatafala ha TaC le ho tiea ha TiC. Ho feta moo, li fana ka khanyetso e matla ea oxidation le ho lumellana ha lik'hemik'hale.
- Sekoahelo sa CVD TaC: Likoahelo tsa TaC tsa Chemical Vapor Deposition (CVD) li fana ka tharollo e theko e tlaase. Li fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso le ho eketsa ts'epo lits'ebetsong tse fapaneng.
- Sekoahelo sa CVD SiC: Liaparo tsa CVD Silicon Carbide (SiC) li netefatsa ho tšoarella le ho sebetsa hantle. Sena se etsa hore e be khetho e ratoang bakeng sa lits'ebetso tsa bohlokoa tse hlokang ts'ebetso e phahameng.
Bahlahisi ba sebelisa lipekere tsa TaC haholo-holo ba sebelisa Chemical Vapor Deposition (CVD). Mekhoa ea ho sila le eona e fana ka mokhoa oa ho fokotsa litšenyehelo le ho amohela libopeho tse rarahaneng. Leha ho le joalo, ho na le liphephetso tsa ho tšoarella, ho kenyeletsoa le matla a tlase a ho khomarela ka lebaka la liphapang tsa katoloso ea mocheso. Sena se ka lebisa ho petsoheng le ho phatloha ha metsi. Lipekere tsa TaC le tsona li hloka bohloeki bo phahameng haholo 'me li lula li kotsing ea ho kenella ha khase e senyang ka likoli tse kang li-pinhole le mapetsong. Oxidation e qala mochesong o kaholimo ho 500°C, e leng se etsang Ta2O5, e senyang pekere. Ho sa tsotellehe mathata ana, thepa ea graphite e koahetsoeng ke TaC e bontšitse bophelo ba nako eaho fihlela lihora tse 200lits'ebetsong tse ling. Li boetse li bontša nako e telele ea bophelo ha li bapisoa le SiC lits'ebetsong tse itseng tsa MOCVD.
Likoahelo tsa SiC bakeng sa li-susceptor tsa graphite le tsona li sebelisoa ka Chemical Vapor Deposition (CVD). Likoahelo tsena li fana ka botsitso ba mocheso le tšireletso ea oxidation. Li fokotsa tšilafalo e tsoang ho substrate ea graphite 'me li fana ka taolo e ntle holim'a sebopeho sa thepa le thepa ea bokaholimo. Lipatlisiso li tsoela pele ho ntlafatsa bohloeki, ho tšoana, le bophelo ba likoahelo tsa SiC.
Liaparo tsa Yttria (Y2O3), ka linako tse ling tse nang le lera la motsoako la SiC-ZrB2, li sebelisoa ka ho fafatsa ka plasma bakeng sa lits'ebetso tsa ho qhibiliha ha uranium. Liaparo tsena li bontšitse khanyetso e ntlafetseng ea mafome le ho tšoarella. Mohlala, pente ea Nb/Y2O3 e fihlelletsoeLipotoloho tse 14 tsa mochesomocheso o sa fetoheng oa 1400 °C. Sekhahla sa motsoako sa SiC-ZrB2 se ntlafalitse ho tšoarella ha seaparo sa Y2O3 ka makhetlo a mararo. Se fihlelletse sena ka ho fokotsa likhatello tse fapaneng tsa mocheso o sa lumellaneng le mocheso le ho fana ka tšireletso ea oxidation e sa sebetseng.
Tsamaiso ea Khase ea Ts'ebetso bakeng sa Li-Susceptor tsa Graphite
Tsamaiso e sebetsang hantle ea khase ea ts'ebetso ke ea bohlokoa bakeng sa ho fokotsa ts'enyeho ho li-susceptor tsa graphite. Sena se kenyelletsa ho hloekisa likhase tse kenang le ho laola moea oa ts'ebetso ka hloko.Ho sefa moea oa limolek'hule, haholo-holo ho sebelisa khabone e kentsweng e kentsweng, e fana ka mokhoa o sebetsang haholo oa ho loantša le ho laola mafome a indasteri. Theknoloji ena e sefa likhase tse senyang tse kang naetrojene dioxide (NO2), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO2), sulfur trioxide (SO3), le hydrogen sulfide (H2S) moeeng ka mokhoa o tšepahalang. E li thibela ho baka tšenyo lits'ebetsong tsa taolo ea elektroniki le ea motlakase. Bokhoni bo phahameng ba ho monya khabone e kentsweng bo ntlafatsoa ke ho kenngoa ha khabone e etselitsoeng lik'hemik'hale tse itseng tse senyang. Katleho ea eona e ka ntlafatsoa haholoanyane ka ho sefa mekhahlelo e mengata, ho tsamaisa phallo hantle, le litsamaiso tse bohlale tsa ho beha leihlo le ho laola.
Ho na le mekhoa e fapaneng ea tlhoekiso ea khase:
- Mekhoa e omileng: Mekhoa ena e sebelisa lime kapa sodium bicarbonate ka mokhoa oa phofo e omileng ho phekola likhase tsa asiti. Li-filter tsa mekotla ebe li tlosa likaroloana tse tiileng.
- Mekhoa e metsi hanyane: Litsamaiso tsena li itšetlehile ka ho monya ka ho fafatsa. Moemeli o monyang o kenngoa e le suspension ka har'a khase ka har'a reactor ea ho kopana, ebe o lateloa ke ho sefa.
- Mekhoa ea metsi: Tsena hangata li sebelisa li-scrubbers tse nang le maro a mantlha (mohlala, tharollo ea caustic soda) ho kokobetsa likhase. Li sebetsa hantle haholo bakeng sa metsoako e nang le chlorine le mesi ea khase ea asiti joalo ka SO2.
Litharollo tsa khoebo le tsona li fana ka tšireletso e matla.Mekhoa ea ho Filthara Moea oa Liindasteri oa EcoScrub™ Deep Bedle EcoScrub™ Thin Bed Systems ke ditsamaiso tse thehilweng hodima media tse nang le dikhemikhale tse ngata bakeng sa dikgase tse senyang le ho tlosa monko o mobe. Di sebetsana le bokgoni ba ho tloha ho 500-2000 CFM, ka bokgoni bo hodimo bo fumanehang. Bry-Air Control Room Air Purifier e sebedisa sistimi ya ho sefa kgase e thehilweng hodima filthara ya mahe a dinotshi (500-2000 CFM). Honeycomb Chemical Filter – DRISORB™ Series e fana ka media e nang le dikokwana-hloko tse ngata e thehilweng hodima desiccant e nang le kgatello e tlase. BRYSORB™ Chemical Media e na le dipellet tse nang le dikokwana-hloko tse chitja/cylindrical tse kentsweng ka dikhemikhale tse ikgethileng.
Mekhoa ea ho Filtration ea Mokhahlelo oa Khase ea Bry-Air e sireletsa lisebelisoa tsa elektroniki likhase tse senyang. Li tlosa likhase tsena ka ho monya le ho li silafatsa, li fokotsa nako ea ho sebetsa le ho boloka maemo a tikoloho joalo ka ANSI/ISA-71.04-2013 le IEC. Mekhoa ena e boetse e fokotsa likhase tse nkhang hampe 'me e kenya letsoho taolong ea mafome liindastering tse kang oli le khase ka ho tlosa litšila tse kotsi ka katleho.Pall o khothalelitse likopano tsa Gaskleen tse hloekisang khase, e kopanyang media ea AresKleen le media ea filthara ea tšepe e sa hloekang ea Ultramet-L™, bakeng sa tlhoekiso ea Argon. Bakeng sa ho laola le ho fokotsa mefuta ea oksijene e setseng le ea hydrocarbon, li-purifier tsa pall tse nang le media ea AresKleen™ INP lia sebetsa. Litsamaiso tsena li fana ka botsitso bo ntlafalitsoeng ba ts'ebetso, katleho e eketsehileng, le phokotso ea liphoso.
Ho Ntlafatsa Liparamitha tsa Ts'ebetso bakeng sa Li-Susceptors tsa Graphite
Ho ntlafatsa ka hloko diparamithara tsa tshebetso ho ama ka ho toba sekgahla sa ho bola ha di-susceptor tsa graphite. Ho laola sekgahla sa mocheso, kgatello le kgase ho fokotsa dikarabelo tse senyang. Ho boloka dithempereichara tse tsitsitseng tsa tshebetso ho thibela dibaka tse chesang tse sebakeng seo moo ho bola ho ka potlakisang. Ho fetofetoha ha mocheso ka potlako ho ka boela ha hatella dikoahelo tse sireletsang, ho etsa hore di be kotsing ya tlhaselo ya dikhemikhale. Ho fetola sekgahla sa phallo ya kgase ho netefatsa ho tloswa ha dihlahiswa tse bakwang ke karabelo ka katleho mme ho thibela ho bokellana ha mefuta e senyang haufi le bokahodimo ba di-susceptor. Ho feta moo, taolo e nepahetseng ya kgatello e thusa ho laola mahloriso a dikhase tse arabelang, e leng se susumetsang ka ho toba sekgahla sa ho senyeha ha dikhemikhale. Basebedisi ba tlameha ho theha le ho kgomarela ka tieo mefuta e metle ya diparamithara bakeng sa tshebetso ka nngwe e ikgethang.
Ho Hloekisa le ho Hlokomela Di-Susceptor tsa Graphite Kamehla
Mekhoa ea kamehla ea ho hloekisa le ho hlokomela e bohlokoa bakeng sa ho thibela ho bola le ho atolosa bophelo ba ts'ebetso ea li-susceptor tsa graphite. Ha nako e ntse e ea, masalla a tsoang likhase tse sebetsang kapa thepa e bolokiloeng a ka bokellana holim'a susceptor. Masalla ana a ka sebetsa e le li-catalyst bakeng sa liketso tse senyang kapa a etsa libaka tse fumanehang sebakeng se le seng tse potlakisang ho senyeha. Litlhahlobo tsa pono tsa kamehla li thusa ho khetholla matšoao a pele a ho bola, joalo ka ho petsoha ha sekoti, ho fetoha ha 'mala, kapa ho omella ha bokaholimo. Mekhoa ea ho hloekisa, hangata e kenyelletsang ho hlatsoa lik'hemik'hale tse itseng kapa mekhoa ea ho tlosa mechini, e felisa masalla ana a kotsi. Leha ho le joalo, mekhoa ea ho hloekisa e tlameha ho khethoa ka hloko ho qoba ho senya liphahlo life kapa life tse sireletsang kapa graphite ka boeona. Ho nkeloa sebaka ha li-susceptor ka nako ho bontšang matšoao a bohlokoa a ho tsofala kapa ho bola ho thibela ho hloleha ho hoholo 'me ho boloka boleng ba ts'ebetso.
Thibelo e Kopantsoeng bakeng sa Li-Susceptors tsa Graphite
Ho Kopanya Boitsebiso, Tsamaiso le Maano a Tšireletso
Thibelo e atlehang ea liphoso tsa graphite susceptor e hloka mokhoa o kopaneng. Leano lena le kopanya khetho e hlokolosi ea thepa, taolo e nepahetseng ea liparamente tsa ts'ebetso, le mekhoa e matla ea tšireletso. Bahlahisi ba khetha thepa e nang le khanyetso ea tlhaho khatellong ea mocheso le tlhaselo ea lik'hemik'hale. Ba boetse ba ntlafatsa liparamente tsa ts'ebetso joalo ka li-ramp tsa mocheso le sekhahla sa phallo ea khase. Ho sebelisa liphahlo tse sireletsang, joalo ka SiC kapa TaC, ho baka tšitiso khahlanong le libaka tse senyang. Li-susceptor tse ntlafalitsoeng li kenya letsoho hobokgoni ba ditjeo le poloko ya matla. Li fana ka bokgoni bo ntlafetseng ba mocheso, e leng se fokotsang ditjeo tsa tshebetso bakeng sa ditsha tsa tlhahiso tse kgolo. Letsete lena theknolojing e tswetseng pele ya susceptor le lebisa melemong ya nako e telele ya ditjhelete ka tshebediso e tlase ya eneji le ditjeo tsa tshebetso.
Melemo ea Morero o Felletseng oa Thibelo
Morero o felletseng oa thibelo o fana ka melemo e meholo. O eketsa nako ea bophelo ba motho ea tšoaroang ke lefu lena 'me o ntlafatsa katleho ea ts'ebetso ka kakaretso.Mekhoa ea netefatso ea boleng e thibela liphosoka tlhokomelo e hlophisitsoeng le ntlafatso ea ts'ebetso. Tsena li kenyelletsa tlhahlobo ea kamehla, litlhahlobo tsa ts'ebetso, le kemiso ea tlhokomelo ea thibelo. Mekhoa ea taolo e hlalosa lintlha tsa tlhahlobo, mekhoa ea liteko le litekanyetso tsa kamohelo.Merero ea boleng ba sejoale-joale e kopanya lisebelisoa tsa dijithalebakeng sa ho beha leihlo le ho laola. Litsamaiso tse iketsang li latela litekanyo tsa boleng ka nako ea sebele. Bohlale ba maiketsetso bo thusa ho bolela esale pele mathata a boleng a ka bang teng pele a etsahala. Tsoelo-pele ena ea theknoloji e matlafatsa mekhoa ea setso ea taolo ea boleng, e ntlafatsa bokhoni le katleho. Melemo e kenyelletsatlhahiso e ntlafetseng le boleng bo betere ba sehlahisoaLikhoebo le tsona li na le litšenyehelo tse tlase tsa ho se latele melao ea tsamaiso, ho qoba likotlo le likotlo. Mekhoa e mecha ea indasteri e khanna phokotso ea litšenyehelo le ho hola ka ho nolofatsa lits'ebetso tsa tlhahiso. Sena se lebisa litšenyehelong tse tlase tsa tlhahiso 'me se nolofalletsa tlhahiso e kholo. Sena se fetolela poloko ea nako e telele bakeng sa likhoebo. Li ka hlahisa ka katleho e kholo le ka litšenyehelo tse fokotsehileng ka yuniti.
Ho utloisisa lisosa tsa motheo ho thibela ka katleho ho petsoha le ho bola ha graphite susceptor. Maano a kopaneng, ho kenyeletsoa le khetho e hlokolosi ea thepa, taolo e nepahetseng ea mocheso, liphahlo tse sireletsang, le taolo e hlokolosi ea ts'ebetso, li ipaka li le bohlokoa. Tlhahlobo le thibelo ea liphoso tse sebetsang ka potlako li eketsa nako ea bophelo ba susceptor haholo, li fokotsa nako ea ho se sebetse, 'me li netefatsa boleng bo tsitsitseng ba ts'ebetso.
LBH
Lisosa tse ka sehloohong tsa ho petsoha ha li-susceptor tsa graphite ke life?
Khatello ea mocheso e bakoang ke liphetoho tse potlakileng tsa mocheso, liphoso tsa thepa tse teng, le ts'ebetso e fosahetseng ea mechini li baka ho petsoha. Tsamaiso e sebetsang e thibela ho hloleha hona.
Liaparo tse sireletsang li thibela ho bola joang linthong tse sireletsang graphite?
Liaparo tse kang SiC kapa TaC li etsa mokoallo o tiileng. Mokoallo ona o sireletsa graphite lik'hemik'haleng tse mabifi le mochesong o phahameng, o eketsa nako ea bophelo ba susceptor haholo.
Ke hobane'ng ha tsamaiso ea khase ea ts'ebetso e le ea bohlokoa bakeng sa ho thibela ho bola ha susceptor?
Ho hloekisa likhase tsa ts'ebetso le ho laola sepakapaka ho tlosa lintho tse senyang. Sena se thibela liketso tse kotsi tsa lik'hemik'hale le graphite, ho netefatsa botšepehi le ts'ebetso ea thepa.
Nako ea poso: Pulungoana-15-2025