Kiselkarbidbeläggning av grafitbricka och lock

Kort beskrivning:

VET Energys kiselkarbidbeläggning med grafitplatta och -hölje är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre tid. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.

 


Produktinformation

Produktetiketter

VET-energiGrafitbricka för kiselkarbidbeläggning, Plate, and Cover är konstruerad för att leverera prestanda i toppklass, vilket ger tillförlitlig och konsekvent drift under längre tids användning, vilket gör den till ett viktigt val för waferbearbetningsapplikationer inom halvledarindustrin. Denna högpresterandeKiselkarbidbeläggning Grafitplattahar exceptionell värmebeständighet, överlägsen termisk jämnhet och enastående kemisk stabilitet, särskilt i höga temperaturer. Dess högrena konstruktion, i kombination med avancerad erosionsbeständighet, gör den oumbärlig för krävande miljöer somMOCVD-mottagare.

7

Viktiga funktioner hos kiselkarbidbeläggningens grafitbricka, platta och lock

1. Oxidationsmotstånd vid hög temperatur:Tål temperaturer upp till 1700 ℃, vilket gör att den fungerar tillförlitligt under extrema förhållanden.

2. Hög renhet och termisk enhetlighet:Konsekvent hög renhet och jämn värmefördelning är avgörande för MOCVD-tillämpningar.

3. Exceptionell korrosionsbeständighet:Resistent mot syror, alkalier, salter och olika organiska reagenser, vilket säkerställer långsiktig stabilitet i olika miljöer.

4. Hög hårdhet och kompakt yta:Har en tät yta med fina partiklar, vilket förbättrar den totala hållbarheten och slitstyrkan.

5. Förlängd livslängd:Konstruerad för lång livslängd, överträffar konventionellakiselkarbidbelagda grafitmottagarei tuffa miljöer för halvledarbearbetning.

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / Kornstorlek

2~10 μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Böjhållfasthet

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃

导热系数 / TermajagLedningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

VET Energys expertis inom kundanpassade grafit- och kiselkarbidlösningar

Som en betrodd tillverkare specialiserar sig VET Energy på specialdesignade grafitmotstånd och kiselkarbidbeläggningslösningar. Vi erbjuder ett utbud av produkter skräddarsydda för halvledar- och solcellsindustrin, inklusiveSiC-belagda grafitkomponentersom brickor, tallrikar och lock. Vårt produktsortiment inkluderar även olika beläggningsalternativ, såsomSiC-beläggning för MOCVD, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggningoch pyrolytisk kolbeläggning, vilket säkerställer att vi möter de varierande kraven från högteknologiska industrier.

Vårt erfarna tekniska team, bestående av experter från ledande inhemska forskningsinstitutioner, erbjuder heltäckande materiallösningar för kunder. Vi förfinar kontinuerligt våra avancerade processer, inklusive en exklusiv patenterad teknik som förbättrar bindningen mellan kiselkarbidbeläggningen och grafitsubstratet, vilket minskar risken för lossning och ytterligare förlänger produktens livslängd.

Tillämpningar och fördelar inom halvledartillverkning

DeKiselkarbidbeläggning för MOCVDgör dessa grafitmotstånd mycket effektiva i högtemperatur- och korrosiva miljöer. Oavsett om de används som grafitskivorbärare eller andra MOCVD-komponenter, uppvisar dessa kiselkarbidbelagda motstånd överlägsen hållbarhet och prestanda. För de som söker pålitliga lösningar inomSiC-belagd grafitmottagareVET Energys kiselkarbidbelagda grafitbricka, -platta och -lock erbjuder ett robust och mångsidigt alternativ som uppfyller halvledarindustrins höga krav.

Genom att fokusera på avancerad materialvetenskap är VET Energy engagerade i att leverera högpresterande SiC-belagda grafitlösningar som driver innovation inom halvledarbearbetning och säkerställer tillförlitlig prestanda i alla MOCVD-relaterade applikationer.

1

2

VET Energy är den verkliga tillverkaren av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc., och kan leverera en mängd olika kundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin.

Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material och har utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!