Grafitvärmare Kiselkarbid (SiC) SiC-beläggning SiC-belagd

Kort beskrivning:

Vår portfölj omfattar värmare, stöddeglar, värmesköldar och isoleringskomponenter för många enkristallodlingsprocesser och material.

Vi levererar även susceptorer för kisel-epitaxis och MOCVD-reaktorer. Vi är kända för vår genomgående höga kvalitet och individualiserade produktion och erbjuder applikationsspecifik efterbehandling genom rengöring, mekanisk bearbetning eller ytbehandling.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktinformation

Produktetiketter

Teknisk specifikation	VET-M3
Skrymdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askhalt (PPM)	≤500
Shore-hårdhet	≥45
Specifik resistans (μΩ.m)	≤12
Böjhållfasthet (Mpa)	≥40
Tryckhållfasthet (Mpa)	≥70
Max kornstorlek (μm)	≤43
Värmeutvidgningskoefficient Mm/°C	≤4,4*10⁻⁶