グラファイトヒーター 炭化ケイ素(SiC) SiCコーティング SiCコーティング

簡単な説明:

当社のポートフォリオには、多くの単結晶成長プロセスおよび材料用のヒーター、サポートるつぼ、ヒートシールド、絶縁部品が含まれています。

当社は、シリコンエピタキシーおよびMOCVDリアクター用のサセプターも供給しています。一貫した高品質と個別対応の製造で知られており、洗浄、機械加工、コーティングなど、用途に応じた仕上げも提供しています。


製品詳細

製品タグ

 

技術仕様

VET-M3

嵩密度(g/cm3)

≥1.85

灰分含有量(PPM)

≤500

ショア硬度

≥45

比抵抗(μ.Ω.m)

≤12

曲げ強度(Mpa)

≥40

圧縮強度(Mpa)

≥70

最大粒径(μm)

≤43

熱膨張係数 mm/°C

≤4.4*10-6

 

 

最新の革新的な製品であるグラファイトヒーターの利点は、省エネ、高価値、メンテナンスコストの低さです。

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梱包詳細:

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