Fa'avevela kalafi Silicon carbide (SiC) Ufiufi SiC Ufiufi SiC

Fa'avevela graphite Silicon carbide (SiC) Ufiufi SiC Ufiufi SiC Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O la matou faila o oloa e aofia ai mea fa'avevela, ogaumu lagolago, talita vevela ma vaega e fa'amafanafana ai le tele o faiga ma meafaitino e tuputupu a'e ai le tioata e tasi.

Matou te tuʻuina atu foʻi ni susceptors mo le silicon epitaxy ma MOCVD reactors. Ua lauiloa i le maualuga o le tulaga lelei ma le gaosiga faʻapitoa, matou te ofoina atu le faʻauma faʻapitoa e ala i le faʻamamaina, faʻagasologa faʻamekanika poʻo le ufiufi.

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Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

Fa'amatalaga Fa'apitoa	VET-M3
Mafiafia o le Tele (g/cm3)	≥1.85
Aotelega o le Lefulefu (PPM)	≤500
Ma'a'a o le Matafaga	≥45
Tete'ega Fa'apitoa (μ.Ω.m)	≤12
Malosiaga Fa'alava (Mpa)	≥40
Malosiaga Fa'apipi'i (Mpa)	≥70
Tele o le saito (μm)	≤43
Fa'atusatusaga o le Fa'alauteleina o le Vevela Mm/°C	≤4.4*10-6