குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையானது சிறிய சாதன வடிவங்கள், அதிக வேஃபர் உற்பத்தித் திறன் மற்றும் மேலும் கடுமையான மாசுக்கட்டுப்பாட்டுத் தரநிலைகளை நோக்கிப் பரிணமித்து வருவதால், வெப்பச் செயலாக்க உபகரணங்கள் முன்னெப்போதும் இல்லாத பொறியியல் சவால்களை எதிர்கொள்கின்றன. LPCVD, வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், டோபன்ட் பரவல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை பதப்படுத்துதல் போன்ற செயல்முறைகள் இப்போது இறுக்கமான வெப்பநிலைச் சீரான தன்மையை மட்டுமல்லாமல், நீண்ட உபகரண இயக்க நேரம், குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மை ஆகியவற்றையும் கோருகின்றன.
செயல்முறை வாயுக்கள், உலைக் குழாய்கள் அல்லது படிவு வேதியியல்களுடன் ஒப்பிடும்போது பெரும்பாலும் கவனிக்கப்படாமல் போனாலும், உயர்-வெப்பநிலை சூழல்களில் வேஃபர்கள் எவ்வாறு செயல்படுகின்றன என்பதை கேன்டிலீவர் பேடில் அடிப்படையாகத் தீர்மானிக்கிறது. பல மேம்பட்ட உற்பத்தி ஆலைகளில், இது இனி ஒரு எளிய நுகர்வுப் பொருளாகக் கருதப்படுவதில்லை, மாறாக நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான ஒரு முக்கிய இயக்கும் பொருளாகக் கருதப்படுகிறது.
SiC கான்டிலீவர் பேடில் என்றால் என்ன?
SiC கான்டிலீவர் பேடில் என்பது, முதன்மையாக குறைக்கடத்தி பரவல் உலைகள் மற்றும் LPCVD அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு கட்டமைப்புப் பாகமாகும். இது பொதுவாக, உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது குவார்ட்ஸ் அல்லது SiC வேஃபர் படகுகளைத் தாங்கக்கூடிய ஒரு நீண்ட கான்டிலீவர் பீம் கட்டமைப்பாக வடிவமைக்கப்படுகிறது.
இந்தக் கூறு பொதுவாகப் பின்வருவனவற்றைப் பயன்படுத்தித் தயாரிக்கப்படுகிறது:
● மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RSiC)
● இரசாயன ஆவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD SiC)
● அதிக அடர்த்தி கொண்ட வினைப் பிணைப்பு SiC பொருட்கள்
கூர்ஸ்டெக் மற்றும் செயிண்ட்-கோபேன் பெர்ஃபார்மன்ஸ் செராமிக்ஸ் வெளியிட்ட பொருள் தரவுகளின்படி, உயர் தூய்மை கொண்ட SiC பொருட்கள் பொதுவாக பின்வரும் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன:
● வெப்பக் கடத்துத்திறன்: அறை வெப்பநிலையில் ஏறத்தாழ 120–200 W/m·K
● கரியமில வாயுச் சூழலில் அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை: 1600°C-க்கு மேல்.
● வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (CTE): தோராயமாக 4.0–4.5×10⁻⁶/K.
● HCl, NH₃, O₂ மற்றும் குளோரினேற்றப்பட்ட செயல்முறை வேதியியலுக்கு சிறந்த எதிர்ப்புத்திறன்.
LPCVD செயலாக்கத்தில் SiC கான்டிலீவர் பேடிலின் பங்கு
அனைத்துப் பயன்பாடுகளிலும், SiC கான்டிலீவர் பேடில்களுக்கான மிக முக்கியமான பயன்பாட்டு நேர்வுகளில் ஒன்றாக LPCVD அமைப்புகள் திகழ்கின்றன.
பின்வரும் செயல்முறைகள்:
● பாலிசிலிக்கான் படிவு.
● சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si₃N₄).
● குறைந்த அழுத்த ஆக்சைடு படிதல்.
பொதுவாக 500°C முதல் 900°C வரையிலான வெப்பநிலையில், பெரும்பாலும் நீண்ட செயல்முறை சுழற்சிகள் மற்றும் அதிக வினைத்திறன் கொண்ட இரசாயனச் சூழல்களின் கீழ் இயங்கும்.
இந்த அமைப்புகளுக்குள், கான்டிலீவர் பேடில் ஒரே நேரத்தில் பல அத்தியாவசியப் பணிகளைச் செய்கிறது.
முதலாவதாக, இது உலைக்குழாயினுள் நுழையும் மற்றும் வெளியேறும் வேஃபர் படகுகளுக்கு நிலையான இயந்திரப் போக்குவரத்தை வழங்குகிறது. நவீன செங்குத்து உலைகள் ஒரு தொகுதிக்கு நூற்றுக்கணக்கான வேஃபர்களைக் கையாளக்கூடும் என்பதால், துடுப்புகளில் ஏற்படும் மிகச்சிறிய உருக்குலைவு கூட வேஃபர் சீரற்ற நிலை, நிலையற்ற இடைவெளி அல்லது இயந்திர அழுத்தக் குவிப்புக்கு வழிவகுக்கும்.
இரண்டாவதாக, வெப்பச் சீரான தன்மையில் துடுப்பு ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது. SiC-இன் உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன், தாங்கு கட்டமைப்பின் நெடுகிலும் வெப்பத்தை மிகவும் சீராகப் பரவச் செய்து, படிதல் சீரான தன்மையைப் பாதிக்கக்கூடிய குறிப்பிட்ட இடங்களிலுள்ள வெப்பச் சரிவுகளைக் குறைக்கிறது.
மூன்றாவதாக, குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மிகவும் முக்கியமானது. குறைக்கடத்தித் துகள்கள், குறிப்பாக மேம்பட்ட லாஜிக் மற்றும் பவர் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், உற்பத்தியை நேரடியாகப் பாதிக்கும் காரணிகளாகும். அதன் அடர்த்தியான செராமிக் கட்டமைப்பு மற்றும் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன் காரணமாக, உயர் தூய்மையான SiC, பாரம்பரியப் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது துகள் உதிர்தல் அபாயத்தைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது.
மேம்பட்ட LPCVD உற்பத்தித் தொடர்களில், துடுப்பின் நீண்டகாலப் பரிமாண நிலைத்தன்மை பின்வருவனவற்றில் நேரடியாகத் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது:
● படலத்தின் தடிமன் சீரான தன்மை.
● ஒவ்வொரு வேஃபரிலும் மீண்டும் மீண்டும் ஒரே மாதிரியான முடிவுகளைத் தரும் தன்மை.
● உலை இயங்கும் நேரம்.
நிங்போ VET எனர்ஜி, சவாலான குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மேம்பட்ட கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸ் மற்றும் CVD-பூசப்பட்ட குறைக்கடத்தி பாகங்கள் ஆகியவற்றில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளது.
முக்கிய குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளில் பின்வருவன அடங்கும்:
● SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு
● SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்
● SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் கேரியர்
● SiC பூசப்பட்ட அரை நிலா வடிவ பாகங்கள்
● கார்பன்-கார்பன் கலப்பு மூசைகள்
● மென்மையான கிராஃபைட் ஃபெல்ட் மற்றும் கடினமான கிராஃபைட் ஃபெல்ட்
இந்த தயாரிப்புகள் பின்வருவனவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:
● எபிடாக்ஸி அமைப்புகள்
● LPCVD உலைகள்
● பரவல் உலைகள்
● SiC படிக வளர்ச்சி அமைப்புகள்
● உயர் வெப்பநிலை வெப்பச் செயலாக்க உபகரணங்கள்.
SiC மற்றும் மேம்பட்ட ஆற்றல் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் விரைவான வளர்ச்சியால், உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் நிலைத்தன்மை கொண்ட உலைக் கூறுகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரிக்கும். இந்தச் சூழலில், அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தை ஆதரிக்கும் அடிப்படைக் கூறுகளில் ஒன்றாக SiC கான்டிலீவர் பேடில் தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து விளங்கும்.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-14-2026