نېمە ئۈچۈن SiC بىلەن قاپلانغان گرافىت تىرېلكىسى مۇقىم كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشنى بەلگىلەيدۇ؟

SiC كىرىستال ئۆستۈرۈش ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدە، نۇرغۇن ئىنژېنېرلار قىزىق رايون لايىھىسى، تېمپېراتۇرا كونترول ئەگرى سىزىقى ۋە پاراشوك فورمۇلاسىغا دىققەت قىلىدۇ. ئەمما مەھسۇلات مىقدارى تەۋرىنىشى يۈز بەرگەندە، ئاساسلىق سەۋەب كۆپىنچە ئوخشاش تەركىبكە - تىرېلغا تۇتىشىدۇ. ئۇ نۇر چىقارمايدۇ، ئايلانمايدۇ ۋە سىزمىلاردا «يادرولۇق پارامېتىر» سۈپىتىدە كۆرۈنمەيدۇ. ئەمما ئەگەر بىر قەۋەت يۈزدىن سويۇلۇپ كەتسە، كىرىستال خاتا جايدا شەكىللەنسە ياكى بۇلۇڭدىن بەك كۆپ كاربون چىقىپ كەتسە، پۈتكۈل توپا يۈزىدىكى نۇقسانلار بىر نەرسىنى ئېنىق كۆرسىتىپ بېرىدۇ: بۇ تەركىب قوللاش رولىدىن يىراق.

بارغانسېرى كۆپىيىۋاتقان مەۋجۇتلۇقSiC قاپلانغان گرافىت كىرېچلىرىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ئۆستۈرۈش ئوچاقلىرىدا بۇنىڭ ئاددىي چۈشەندۈرۈشى بار: ئۆسۈش رايونىدىكى تېمپېراتۇرا، ئاتموسفېرا ۋە ماتېرىيال توشۇش كۈچلۈكلۈكى ماتېرىيالنىڭ ئىقتىدارىنىڭ چەكلىمىسىنى ئاشۇرۇۋاتىدۇ. گرافىت ئىسسىقلىققا قارشى تۇرۇش، ماشىنىدا ئىشلەش ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈش جەھەتتە ئىنتايىن ياخشى، ئەمما ئۇنىڭ ئۆزىگە خاس خۇسۇسىيىتى بار: ئۇچۇشچانلىق، ئۆتكۈزۈشچانلىق., پار تۈرىدىكى ماددىلار ياكى ئارىلاشمىلار بىلەن خىمىيىلىك رېئاكسىيەگە كىرىش، پاراشوك ۋە زەررىچە ھاسىل بولۇش خەۋپىدىن ساقلىنىش مۇمكىن ئەمەس. SiC قەۋىتى دەل مۇشۇ ئاغرىق نۇقتىلىرىغا قارشى قاتتىق توساق رولىنى ئوينايدۇ.

نېمە ئۈچۈن گرافىت تېشىغا SiC قاپلىمىسىنى ئىشلىتىش كېرەك؟

ئۈچ ئاساسلىق سەۋەب:

1. كاربوننىڭ ئۇچۇپ كېتىشى ۋە رېئاكسىيەچانلىقىنى تۆۋەنلىتىڭ

گرافىت يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا، ھەتتا ئىنېرت گاز ئاستىدامۇ سۇبلىماتسىيەلىنىشكە باشلايدۇ. قويۇپ بېرىلگەن كاربون PVT ئۆسۈش جەريانىدا پار باسقۇچى خىمىيىسىنى ئۆزگەرتىپ، چۆكمە كىنېتىكىسىغا توسقۇنلۇق قىلىپ، نۇقسان شەكىللىنىشىنى ياكى مۇقىمسىز ئۆسۈش يۆنىلىشىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ.

2. بۇلغىنىش مەنبەلىرىنى چەكلەش

ھەتتا ئىزوستاتىك سىقىلغان يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىتنىڭمۇ مىكرو تۆشۈكلىرى بار بولۇپ، پارغا ئوخشاش ماددىلار، قوشۇمچە مەھسۇلاتلار ياكى نەملىك قاتارلىق تۈرلەرنى سۈمۈرۈشكە مايىل. بۇلار كېيىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئايلىنىش جەريانىدا قويۇپ بېرىلىپ، كىرىستالنىڭ ساپلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. SiC قاپلىمى تۆشۈكلەرنى پېچەتلەپ، مۇھىتنىڭ ساپلىقىنى ئاشۇرىدۇ.

3. ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ ۋە چاچراپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ

كۆپ قېتىم ئىشلەتكەندىن كېيىن، گرافىت يۈزى پارچىلىنىشقا مايىل بولىدۇ: پاراشوكلىنىش، پوستىنىڭ سويۇلۇشى، مىكرو يېرىلىش ۋە ماتېرىيالنىڭ قېتىپ قېلىشى. بۇلار زەررىچىلەرنىڭ بۇلغىنىشى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنىڭ تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. كۈچلۈك SiC قاپلىمى بۇ خىل مەغلۇبىيەت مېخانىزمىنى زور دەرىجىدە كېچىكتۈرۈپ، يۈزەكى پۈتۈنلۈك ۋە ئىشەنچلىكلىكنى ساقلايدۇ.

قاپلاش جەريانىنى كونترول قىلىش كىرېستنىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى بەلگىلەيدۇ

ئاساسلىق قاپلاش ئۇسۇلى يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرى(خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش) پولىكرىستاللىق SiC. ئۇ پىشقان ۋە ئىسسىقلىققا چىداملىق. قانداقلا بولمىسۇن، بىر قاپلامنىڭ بولۇشى يېتەرلىك ئەمەس - ئەمەلىي مەيدان ئىقتىدارىدىكى پەرق تۆۋەندىكىدەك ئىنچىكە تەپسىلاتلارغا باغلىق:

● قاپلاش قېلىنلىقىنىڭ بىردەكلىكى

مۇرەككەپ تىرېس گېئومېتىرىيەسى — پەلەمپەيلەر، ئويمانلىقلار، فىلېتلار — سايە ياكى تۆۋەن چۆكمە رايونلىرىنى ھاسىل قىلىدۇ، بۇ رايونلاردا قاپلاش قېلىنلىقى ئۆلچەمدىن تۆۋەن بولۇپ قالىدۇ. بۇ نېپىز رايونلار ئىسسىقلىق بېسىمى ئاستىدا ئەڭ ئاۋۋال پارچىلىنىدۇ.

ھەل قىلىش چارىسى:قاپلاش تەمىنلىگۈچىسى مۇرەككەپ زاپچاسلاردىمۇ بىردەك قاپلاشنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ئېنىق 3D ئېقىم مەيدانىنى كونترول قىلىش ۋە دىنامىك ئايلىنىش سىستېمىسىغا ئىگە بولۇشى كېرەك.

● قاپلاش زىچلىقى ۋە ئىنچىكە تۆشۈكلەرنى يوقىتىش

ئەگەر CVD پارامېتىرلىرى (تېمپېراتۇرا گرادىيېنتى، گاز نىسبىتى، تۇرۇش ۋاقتى) قاتتىق كونترول قىلىنمىسا، مىكروسكوپ شەكىللەنگەن تۆشۈكلەر پەيدا بولۇشى مۇمكىن. بۇلار كاربون چىقىپ كەتكەندە ۋە يەرلىك چىرىش يۈز بەرگەندە مەغلۇبىيەت باشلىنىش نۇقتىسىغا ئايلىنىدۇ.

بايقاش:ئاساسىي قېلىنلىق ۋە كۆرۈش تەكشۈرۈشى يېتەرلىك ئەمەس. يوشۇرۇن تۆشۈكلۈكنى بايقاش ئۈچۈن، گېلىي ئېقىش سىنىقى ياكى كۆپ خىل ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىدە قالغان ئورۇقلاش سىنىقىنى ئىشلىتىڭ.

● يېپىشتۇرۇش كۈچى ۋە ئىسسىقلىق بېسىمىغا قارشى تۇرۇش

SiC ۋە گرافىتنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئوخشىمايدۇ. ئەگەر قاپلامدىكى قالدۇق بېسىم ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈلمىسە، ياكى يۈزەكى قوپاللىشىش/ئالدىن بىر تەرەپ قىلىش يېتەرلىك بولمىسا، ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى جەريانىدا قېپىنىڭ يېرىلىشى يۈز بېرىشى مۇمكىن.

ئەڭ ياخشى ئۇسۇللار:قاپلاشتىن بۇرۇن قۇم-شېغىللىق تازىلاش ۋە ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى ئارقىلىق تازىلاشنى جەزملەشتۈرۈڭ، ھەمدە ھەقىقىي ئوچاق دەۋرىيلىكى ئارقىلىق ئىسسىقلىق بېسىمىغا چىداملىقلىقىنى جەزملەشتۈرۈڭ.

كۆپ ئۇچرايدىغان مەغلۇبىيەت شەكىللىرى ۋە ئۇلارنىڭ كىرىستال تەسىرى

ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، بىر قېتىم قازان ئىشلىمەي قالسا، نەتىجىدە كۆپىنچە بىر قانچە ppmلا ئەمەس، بەلكى پۈتۈن تۈركۈمنىڭ يوقىلىشى ۋە بىر قانچە ھەپتىلىك ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنىڭ ئۈزۈلۈپ قېلىشى كۆرۈلىدۇ. بۇ پەقەت ماددىي مەسىلە ئەمەس، بەلكى سىستېما مۇقىملىقى مەسىلىسى.