Vassoio di trasportu rivestitu di carburo di siliciu resistente à a corrosione

Descrizzione corta:

U vassoio di trasportu rivestitu di carburo di siliciu VET Energy hè un pruduttu d'altu rendimentu cuncipitu per furnisce prestazioni consistenti è affidabili per un periodu prolongatu. Hà una resistenza à u calore è uniformità termica super bona, alta purezza, resistenza à l'erosione, chì ne face a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazione di wafer.

 

 

 


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Induttori SiC1
Induttori SiC2

Vassoio di trasportu in carburo di siliciuis a chjavecumpunente utilizatu in diversi prucessi di fabricazione di semiconduttori.Adupremu a nostra tecnulugia brevettata per fà u supportu di carburo di siliciu cùpurezza estremamente alta,benerivestimentuuniformitàè una eccellente durata di serviziu, cum'èalta resistenza chimica è proprietà di stabilità termica.

L'energia VET hè uveru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù rivestimentu CVD,pò furniscevariiParti persunalizate per l'industria di i semiconduttori è di u fotovoltaicu. OA nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, pò furnisce suluzioni di materiali più prufessiunaliper tè.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati,èanu elaboratu una tecnulugia brevettata esclusiva, chì pò fà chì u ligame trà u rivestimentu è u sustratu sia più strettu è menu propensu à u distaccu.

Fcaratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione à alta temperatura finu à 1700.
2. Alta purezza èuniformità termica
3. Eccellente resistenza à a currusione: acidi, alcali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. Vita di serviziu più longa è più durevule

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

性质 / Pruprietà

典型数值 / Valore Tipicu

晶体结构 / Struttura Cristallina

Fase β di a FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 维氏硬度(500g di carica)

晶粒大小 / Grana

2~10μm

纯度 / Purità chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700 ℃

抗弯强度 / Resistenza à a flessione

415 MPa RT à 4 punti

杨氏模量 Modulu di Young

Curvatura 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermalCunduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione Termica (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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Vi benvenuti à visità a nostra fabbrica, parlemu più in dettagliu!

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