Barca di quarzu d'alta purezza per a trasfurmazione di wafer

Barca di cialda di quarzuhè un strumentu chjave in a fabricazione di semiconduttori, a pruduzzione di cellule fotovoltaiche è a ricerca è u sviluppu di materiali avanzati, cuncipitu per u trasferimentu è u pusizionamentu stabile di wafer in prucessi à alta temperatura. Stu pruduttu hè fattu di silice fusa (SiO2) di purezza ultra-alta, cù eccellenti caratteristiche di resistenza à a temperatura, stabilità chimica è contaminazione di metalli ultra-bassa, adattatu per forni di diffusione, forni di ossidazione, PECVD/LPCVD è altre apparecchiature, largamente utilizatu in u rivestimentu di wafer, l'impiantu ionicu, a ricottura à alta temperatura è altri prucessi di core.

I principali vantaghji di a barca di quarzu di VET Energy:

• Materiale di purezza ultra-alta
  Purità ≥99,99%: Cuntenutu d'impurità (Na, K, Fe, ecc.) <5ppm, evitendu a contaminazione di e wafer è garantendu u rendimentu di u chip.
  Bassa precipitazione è adsorbimentu: a superficia hè super lucidata (Ra≤0.4μm) per riduce l'adesione di e particelle è i residui di gas.
• Stabilità à alta temperatura
  Limite di temperatura: Temperatura di travagliu à longu andà di 1100 ℃, piccu à cortu andà di 1300 ℃, senza deformazione, senza precipitazione di cristalli.
  Coefficiente di dilatazione termica bassu (5,5x10-7/℃), eccellente resistenza à i shock termichi, adattabile à u prucessu di rapida crescita è diminuzione di a temperatura (per esempiu, ricottura rapida RTP).
• Cuncepimentu strutturale precisu
  Precisione di a fessura ± 0,1 mm: currisponde à i wafer da 2 "à 12", errore di uniformità di spaziatura <0,05 mm, assicurendu chì i wafer ùn anu micca offset.
  Alta capacità di carica: Carica massima di 50 wafer (in termini di wafer di 12") in una sola barca, chì supporta un trasferimentu stabile di wafer sottili (≥100um).
• Inerzia chimica
  Resistenza à a corrosione: Resistente à a corrosione di l'acidu (eccettu HF), alcalinu è solvente organicu, cumpatibile cù u prucessu di pulizia CMP.
  Eccellente tenuta à i gasi: Tassa di perdita <5x10-10 Pa.m3/s, adatta per ambienti di vuoto è di gas protettivi.
• Longa vita è mantenibilità
  Aspettativa di vita ≥ 5000 cicli (cundizioni di travagliu nurmali), a superficia pò esse pulita è aduprata ripetutamente, riducendu u costu generale.
  Cuncepimentu mudulare: supporta a sustituzione parziale (per esempiu, un dente di barca unicu), riducendu i tempi di inattività.

Offremu superfici trasparenti è satinate secondu i requisiti di u cliente:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd hè una impresa high-tech chì si cuncentra nantu à a pruduzzione è a vendita di materiali avanzati di alta gamma, i materiali è a tecnulugia cumpresi grafite, carburo di siliciu, ceramica, trattamentu di superfici cum'è rivestimentu SiC, rivestimentu TaC, rivestimentu di carbone vetroso, rivestimentu di carbone pirolitico, ecc., Sti prudutti sò largamente usati in fotovoltaicu, semiconduttori, nova energia, metallurgia, ecc.

A nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, è hà sviluppatu parechje tecnulugie brevettate per assicurà e prestazioni è a qualità di u produttu, pò ancu furnisce à i clienti suluzioni di materiali prufessiunali.