耐腐食性シリコンカーバイドコーティングキャリアトレイ

簡単な説明:

VET Energyのシリコンカーバイドコーティングキャリアトレイは、長期にわたって安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。

 

 

 


製品詳細

製品タグ

SiCインダクタ1
SiCインダクタ2

シリコンカーバイドキャリアトレイis a さまざまな半導体製造プロセスで使用されるコンポーネント。当社は特許技術を使用してシリコンカーバイドキャリアを製造しています。極めて高い純度、良いコーティング均一優れた耐用年数、 同様に高い耐薬品性と熱安定性を備えています。

VETエネルギーは そのCVDコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカー、供給できる様々な半導体および太陽光発電産業向けのカスタマイズ部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身で、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。

当社は、より高度な材料を提供するために、高度なプロセスを継続的に開発しています。そしてコーティングと基材の接着をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

F当社の製品の特徴:

1. 1700℃までの高温酸化耐性.
2. 高純度で熱均一性
3. 優れた耐腐食性:酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

性质 / 財産

典型的な数値 / 標準値

結晶構造 / 結晶構造

FCCβ相多結晶、主である(111)取向

密度 / 密度

3.21 g/cm³

硬度 / 硬度

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大小 / 粒度

2~10μm

/ 化学純度

99.99995%

熱容 / 熱容量

640 J·kg-1·K-1

昇华温度 / 昇華温度

2700℃

抗强度 / 曲げ強度

415 MPa RT 4点

杨氏模量 / ヤング率

430 Gpa 4点曲げ、1300℃

导熱系数 / サーマl導電率

300W·m-1·K-1

熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE)

4.5×10-6K-1

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弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。

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生设备

 

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