耐腐食性シリコンカーバイドコーティングキャリアトレイ

簡単な説明:

VET Energyのシリコンカーバイドコーティングキャリアトレイは、長期間にわたり安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐侵食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。

 

 

 

 


製品詳細

商品タグ

SiCインダクタ1
SiCインダクタ2

炭化ケイ素製キャリアトレイis a 様々な半導体製造プロセスで使用される部品。当社は特許技術を用いて炭化ケイ素キャリアを製造しています。極めて高い純度、良いコーティング均一そして優れた耐用年数、 同様に高い耐薬品性と耐熱性。

VET Energyは CVDコーティングを施したカスタムグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者。供給できます様々な半導体および太陽光発電産業向けの特注部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。

当社は、より高度な材料を提供するために、高度なプロセスを継続的に開発しています。そして当社は、コーティングと基材との接着をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

F当社製品の特徴:

1. 1700℃までの高温酸化耐性C.
2. 高純度で熱均一性
3. 優れた耐食性:酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 高硬度、緻密な表面、微細粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

性质 / 財産

典型的な数値 標準値

結晶構造 結晶構造

FCC β相多結晶、主である(111)取向

密度 / 密度

3.21 g/cm³

硬度 硬度

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大小 / 粒の大きさ

2~10μm

化学的純度

99.99995%

熱容 熱容量

640 J・kg-1・K-1

昇华温度 昇華温度

2700℃

抗强度 曲げ強度

415 MPa RT 4点

杨氏模量 ヤング率

430 GPa 4点曲げ、1300℃

导熱系数 / テルマl導電率

300W・m-1・K-1

熱膨張胀系数 熱膨張係数(CTE)

4.5×10-6K-1

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ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう!

 

生设备

 

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