Korrózióálló szilícium-karbid bevonatú hordozótálca

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid bevonatú hordozótálca egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

Szilícium-karbid hordozótálcais a kulcsfontosságúkülönféle félvezetőgyártási folyamatokban használt alkatrész.Szabadalmaztatott technológiánkat használjuk a szilícium-karbid hordozó előállításáhozrendkívül nagy tisztaságú,jóbevonategyenletességés kiváló élettartam, valamintmagas kémiai ellenálló képesség és hőstabilitási tulajdonságok.

A VET energia aCVD bevonattal ellátott, egyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója,tud ellátnikülönfélefélvezető és fotovoltaikus ipar számára készült egyedi alkatrészek. OMűszaki csapatunk a vezető hazai kutatóintézetekből érkezik, így professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani.érted.

Folyamatosan fejlesztjük a fejlett folyamatokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk,éskidolgoztak egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Ftermékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700-ig℃.
2. Nagy tisztaságú éshőegyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Szemcseméret	2~10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítószilárdság	415 MPa RT 4-pontos
杨氏模量 / Young modulusa	430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1