Vassoio di supporto rivestito in carburo di silicio resistente alla corrosione

Breve descrizione:

Il vassoio di supporto rivestito in carburo di silicio di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per garantire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Vanta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

 

 

 

 


Dettagli del prodotto

Etichette prodotto

Induttori SiC1
Induttori SiC2

vassoio di supporto in carburo di siliciois a chiavecomponente utilizzato in diversi processi di produzione di semiconduttori.Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il supporto in carburo di silicio conpurezza estremamente elevata,Benerivestimentouniformitàe un'eccellente durata di servizio, così comeelevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VETF Energy è ILvero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD,può fornirevariComponenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. OIl nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornire soluzioni materiali più professionali.per te.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali più avanzati,Ehanno sviluppato una tecnologia brevettata esclusiva, in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

FCaratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 °C°C.
2. Elevata purezza euniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza

Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

晶体结构 / Struttura cristallina

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

晶粒大小 / Dimensione del grano

2~10μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700℃

抗弯强度 / Resistenza alla flessione

415 MPa RT 4 punti

杨氏模量 Modulo di Young

430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃

导热系数 / ThermalConduttività

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Precedente:
  • Prossimo:

  • Chatta online su WhatsApp!