Plateau de feuille épitaxiale revêtu de carbure de silicium utilisé dans les fours épitaxiaux

Brève description :

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. est une entreprise de haute technologie établie en Chine, nous sommes un fournisseur professionnel Plateau de feuille épitaxiale revêtu de carbure de silicium utilisé dans les fours épitaxiaux afabricant et fournisseur. nous nous concentrons sur les nouvelles technologies de matériaux et les produits automobiles.


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Notre société fournit des services de processus de revêtement SiC par la méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules de SiC de haute pureté, des molécules déposées sur la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice SIC.

Caractéristiques principales :

1. Résistance à l'oxydation à haute température :

la résistance à l'oxydation est toujours très bonne lorsque la température atteint 1600 °C.

2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.

3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.

4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC :

Propriétés du SiC-CVD

Structure cristalline Phase β du FCC
Densité g/cm³ 3.21
Dureté Dureté Vickers 2500
Taille des grains μm 2 à 10
Pureté chimique % 99,99995
Capacité thermique J·kg-1·K-1 640
Température de sublimation °C 2700
Force félexurale MPa (RT 4 points) 415
Module de Young Gpa (pliage 4 points, 1300℃) 430
Dilatation thermique (CTE) 10-6K-1 4,5
Conductivité thermique (W/mK) 300

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