Mit Siliziumkarbid beschichtete Epitaxie-Plattenschale für Epitaxie-Ofen

Kurze Beschreibung:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein High-Tech-Unternehmen mit Sitz in China, Wir sind professionelle Versorgung Mit Siliziumkarbid beschichtete Epitaxie-Plattenschale für Epitaxie-Ofen aHersteller und Lieferant. Wir konzentrieren uns auf neue Materialtechnologien und Automobilprodukte.


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Unser Unternehmen bietet SiC-Beschichtungsverfahren mittels CVD-Verfahren auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien an, sodass spezielle Gase, die Kohlenstoff und Silizium enthalten, bei hohen Temperaturen reagieren und hochreine SiC-Moleküle entstehen, die sich auf der Oberfläche der beschichteten Materialien ablagern und eine SIC-Schutzschicht bilden.

Haupteigenschaften:

1. Hohe Temperaturoxidationsbeständigkeit:

die Oxidationsbeständigkeit ist auch bei Temperaturen von bis zu 1600 °C noch sehr gut.

2. Hohe Reinheit: Hergestellt durch chemische Gasphasenabscheidung unter Hochtemperaturchlorierungsbedingungen.

3. Erosionsbeständigkeit: hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.

4. Korrosionsbeständigkeit: Säure, Lauge, Salz und organische Reagenzien.

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung:

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur FCC-β-Phase
Dichte g/cm³ 3.21
Härte Vickershärte 2500
Körnung μm 2 bis 10
Chemische Reinheit % 99,99995
Wärmekapazität J·kg-1·K-1 640
Sublimationstemperatur 2700
Flexurale Festigkeit MPa (RT 4-Punkt) 415
Elastizitätsmodul Gpa (4pt-Biegung, 1300℃) 430
Wärmeausdehnung (CTE) 10-6K-1 4.5
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 300

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