에피택셜 성장로 장비에 사용되는 탄화규소 코팅 에피택셜 시트 트레이

간략한 설명:

닝보 VET 에너지 기술 유한회사는 중국에 설립된 첨단 기술 기업으로, 전문적인 공급을 제공합니다. 에피택셜 성장로 장비에 사용되는 탄화규소 코팅 에피택셜 시트 트레이 a제조업체 및 공급업체. 저희는 신소재 기술과 자동차 제품에 집중하고 있습니다.


제품 상세 정보

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당사는 CVD 방식을 이용하여 흑연, 세라믹 및 기타 재료 표면에 SiC 코팅 공정 서비스를 제공합니다. 이 방식은 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스가 고온에서 반응하여 고순도 SiC 분자를 생성하고, 이 분자가 코팅 재료 표면에 증착되어 SiC 보호층을 형성하는 것입니다.

주요 특징:

1. 고온 산화 저항성:

산화 저항성은 섭씨 1600도에 달하는 고온에서도 여전히 매우 우수합니다.

2. 고순도: 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착법으로 제조.

3. 내식성: 높은 경도, 치밀한 표면, 미세 입자.

4. 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 대한 내성.

CVD-SIC 코팅의 주요 사양:

SiC-CVD 특성

결정 구조 FCC β상
밀도 g/cm³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
입자 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1·케이-1 640
승화 온도 2700
굴곡 강도 MPa (RT 4점) 415
영률 GPA (4점 굽힘, 1300℃) 430
열팽창(CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (와트/밀리켈빈) 300

그림 1 그림 2 그림 3 그림 4 그림 5 정면 반대면4 5 1111111

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