Vassoio in fogli epitassiali rivestito in carburo di silicio utilizzato nelle apparecchiature per forni epitassiali

Breve descrizione:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. è un'impresa high-tech fondata in Cina, siamo fornitori professionali Vassoio in fogli epitassiali rivestito in carburo di silicio utilizzato nelle apparecchiature per forni epitassiali aproduttore e fornitore. Ci stiamo concentrando sulle nuove tecnologie dei materiali e sui prodotti per il settore automobilistico.


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La nostra azienda offre servizi di rivestimento in SiC tramite metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali. In questo processo, speciali gas contenenti carbonio e silicio reagiscono ad alta temperatura per ottenere molecole di SiC ad elevata purezza, che si depositano sulla superficie dei materiali rivestiti, formando uno strato protettivo di SiC.

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:

La resistenza all'ossidazione rimane molto buona anche a temperature elevate, fino a 1600 °C.

2. Elevata purezza: prodotto mediante deposizione chimica da fase vapore in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.

4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.

Principali caratteristiche del rivestimento CVD-SIC:

Proprietà del SiC-CVD

Struttura cristallina Fase β FCC
Densità g/cm³ 3.21
Durezza Durezza Vickers 2500
Dimensione del grano μm 2~10
Purezza chimica % 99,99995
Capacità termica J·kg-1·K-1 640
Temperatura di sublimazione °C 2700
Forza flessoria MPa (RT a 4 punti) 415
Modulo di Young Gpa (piegamento a 4 punti, 1300℃) 430
Dilatazione termica (CTE) 10-6K-1 4.5
conducibilità termica (W/mK) 300

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