MOCVD K465i용 장수명 SIC 코팅 흑연 히터, 에피택시용 흑연 히터

간단한 설명:

화학 흑연

장점: 고온 저항성

응용 분야: MOCVD/진공로/핫존

체적 밀도: 1.68-1.91g/cm3

굽힘강도: 30-46Mpa

저항률: 7-12μΩm

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제품 상세 정보

제품 태그

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MOCVD 기판 히터, MOCVD용 가열 요소

석묵히터:
그만큼흑연 히터구성 요소는 진공 환경에서 온도가 2200도에 도달하고, 탈산 및 주입 가스 환경에서 온도가 3000도에 도달하는 고온로에서 사용됩니다.
흑연 히터의 주요 특징:
1. 가열구조의 균일성
2. 좋은 전기 전도성과 높은 전기 부하.
3. 내식성.
4. 산화방지성.
5. 높은 화학적 순도.
6. 높은 기계적 강도.
장점은 에너지 효율성이 높고, 가치가 높으며, 유지관리 비용이 저렴하다는 것입니다.
우리는 산화방지 및 장수명 흑연 도가니, 흑연 몰드 및 흑연 히터의 모든 부품을 생산할 수 있습니다.
흑연 히터의 주요 매개변수:

기술 사양	VET-M3
체적 밀도(g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
쇼어 경도	≥45
비저항(μ.Ω.m)	≤12
굽힘 강도(Mpa)	≥40
압축 강도(Mpa)	≥70
최대 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 Mm/°C	≤4.4*10-6