Heater ea Graphite e koahetsoeng ka SIC ea nako e telele bakeng sa MOCVD K465i, Heater ea Graphite bakeng sa epitaxy

Sehatsetsi sa Graphite se koahetsoeng ke SIC sa nako e telele bakeng sa MOCVD K465i, Sehatsetsi sa Graphite bakeng sa epitaxy Setšoantšo se Hlahisitsoeng

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Graphite ea Lik'hemik'hale

Molemo: Ho hanyetsa mocheso o phahameng

Kopo: MOCVD/Sebōpi sa Vacuum/Sebaka se Chesang

Boima ba Bongata: 1.68-1.91g/cm3

Matla a ho tenyetseha: 30-46Mpa

Ho hanyetsa: 7-12μΩm

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Bophelo bo boleleleSIC tlotsitsoeng Graphite Heaterbakeng sa MOCVD K465i, Graphite Heater bakeng sa epitaxy,
hitara ea graphite, Sehatsetsi sa Graphite bakeng sa MOCVD, hitara, SIC tlotsitsoeng Graphite Heater,

Mocheso oa MOCVD Substrate, Lisebelisoa tsa ho Futhumatsa Bakeng sa MOCVD

Graphitehitara:
Thehitara ea graphiteLikarolo li sebelisoa ka ontong ea mocheso o phahameng moo mocheso o fihlang ho likhato tse 2200 tikolohong ea vacuum le likhato tse 3000 tikolohong ea khase e hloekisitsoeng le e kentsoeng.
Likarolo tse ka sehloohong tsa graphitehitara:
1. ho tšoana ha sebopeho sa ho futhumatsa.
2. motlakase o motle le mojaro o phahameng oa motlakase.
3. ho hanyetsa ho bola.
4. ho se kgone ho ntsha oksideishene.
5. bohloeki bo phahameng ba lik'hemik'hale.
6. matla a phahameng a mechini.
Molemo ke ho boloka matla hantle, boleng bo holimo le tlhokomelo e tlase.
Re ka hlahisa anti-oxidation le bophelo bo bolelele ba graphite crucible, hlobo ea graphite le likarolo tsohle tsa heater ea graphite.
Litekanyetso tse ka sehloohong tsa hitara ea graphite:

Tlhaloso ea Tekheniki	VET-M3
Bongata ba Bongata (g/cm3)	≥1.85
Dikahare tsa Molora (PPM)	≤500
Ho tiea ha lebōpo	≥45
Khanyetso e Ikhethang (μ.Ω.m)	≤12
Matla a ho Kobeha (Mpa)	≥40
Matla a Khatello (Mpa)	≥70
Boholo ba Thollo (μm)	≤43
Katoloso ea Thermal e lekanang le karolelano ea Mm/°C	≤4.4*10-6

Sehatsetsi sa grafiti bakeng sa onto ea motlakase se na le litšobotsi tsa ho hanyetsa mocheso, ho hanyetsa oxidation, ho tsamaisa motlakase hantle le matla a mechini a betere. Re ka sebelisa mefuta e fapaneng ea sehatsetsi sa grafiti ho latela meralo ea bareki.