태양전지 생산라인의 PECVD에 사용되는 흑연보트
태양 전지 생산에는 텍스처링, 확산, 에칭, 코팅, 스크린 인쇄, 소결의 여섯 가지 주요 공정이 필요합니다. 태양 전지 제조 시 PECVD 튜브 코팅 공정은 흑연 보트를 작업체로 사용합니다. 이 코팅 공정은 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD)을 이용하여 실리콘 웨이퍼 전면에 실리콘 질화막을 증착하여 태양광 반사를 줄이고 실리콘 웨이퍼 표면을 개선합니다.
PECVD 흑연 보트의 특징:
1) "컬러 렌즈" 기술을 채택하여 장기간 "컬러 렌즈"가 발생하지 않도록 보장합니다.
2) 고순도, 낮은 불순물 함량, 고강도의 수입 흑연 소재로 제작되었습니다.
3) 99.9% 세라믹을 사용하여 세라믹 조립체로 강력한 내식성과 내구성을 갖추고 있습니다.
4) 정밀 가공 장비를 사용하여 각 부품의 정확성을 보장합니다.
사양
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그래파이트 보트 --- 156 시리즈 | 156-13 그래파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그래파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그래파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그래파이트 보트 --- 125 시리즈 | 125-15 그래파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그래파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |
닝보 VET 에너지 테크놀로지 주식회사는 최첨단 소재의 생산과 판매에 주력하는 첨단 기술 기업입니다. 소재와 기술은 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등과 같은 표면 처리 기술을 포함하고 있으며, 이러한 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등에서 널리 사용됩니다.
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