VET Energy의 PECVD 공정용 흑연 웨이퍼 지지대는 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정을 위해 설계된 핵심 소모품입니다. 이 제품은 고순도, 고밀도 흑연 소재로 제작되어 내열성, 내식성, 치수 안정성 등 우수한 특성을 지니고 있으며, PECVD 공정에 안정적인 지지 플랫폼을 제공하여 박막 증착의 균일성과 평탄성을 보장합니다.
VET Energy의 흑연 웨이퍼 지지대의 "흑연 지지" 설계는 웨이퍼를 효과적으로 지지할 뿐만 아니라 고온 고압의 PECVD 환경에서 열 안정성을 제공하여 공정의 안정성을 보장합니다.
VET Energy PECVD 공정 흑연 웨이퍼 지지체는 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.
▪고순도:불순물 함량이 극히 낮아 필름 오염을 방지하고 필름 품질을 보장합니다.
▪고밀도:고밀도, 높은 기계적 강도, 고온 고압의 PECVD 환경을 견딜 수 있습니다.
▪우수한 치수 안정성:고온에서 발생하는 작은 치수 변화는 공정의 안정성을 보장합니다.
▪뛰어난 열전도율:웨이퍼 과열을 방지하기 위해 효과적으로 열을 전달합니다.
▪뛰어난 내식성:다양한 부식성 가스 및 플라즈마에 의한 침식에 저항할 수 있습니다.
▪맞춤형 서비스:다양한 크기와 모양의 흑연 지지대 테이블은 고객의 요구에 따라 맞춤 제작할 수 있습니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 시험 기준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 부피 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 크기 모공 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| 로크웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 비전기저항 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굽힘 강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 압축 강도 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 열팽창(20~200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도율(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
이 장비는 고효율 태양전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며, G12 대형 웨이퍼 공정을 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계로 처리량이 크게 증가하여 수율이 향상되고 생산 비용이 절감됩니다.
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |
