VET 에너지SiC 코팅 MOCVD 서셉터웨이퍼 처리 애플리케이션에서 일관되고 안정적인 성능을 발휘하도록 설계된 고성능 제품입니다. 뛰어난SiC 코팅뛰어난 내열성, 열 균일성 및 내식성을 제공합니다.MOCVD 장비, 이것실리콘 카바이드 코팅 서셉터최적의 보장웨이퍼성장과 장비 수명 연장.
제품 특징:
1. 최대 1700℃ 고온 산화 저항성: 당사의 SiC 코팅은 가장 까다로운 MOCVD 환경에서도 뛰어난 열 안정성을 제공합니다.
2. 높은 순도 및 열 균일성: 실리콘 카바이드 서셉터는 웨이퍼 전체에 걸쳐 최소한의 불순물과 일관된 가열을 보장하여 뛰어난 결정 품질을 보장합니다.
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 대한 내성이 뛰어나, 당사의 수용체는 다양한 화학 환경에서도 그 무결성을 유지합니다.
4. 경도가 높고 표면이 치밀하며 입자가 미세함: 이러한 특성은 서비스 수명을 연장하고 내구성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
CVD 실리콘 카바이드 코팅 제품의 이점 및 응용 분야
MOCVD 서셉터는 반도체 제조에 상당한 이점을 제공합니다. SiC 코팅은 웨이퍼 품질을 향상시키고, 결함을 줄이며, 생산 효율을 최적화합니다. VET 에너지는 반도체 및 태양광 산업의 특정 요구에 맞춰 제작된 다양한 탄화규소 제품을 공급합니다.
제품 맞춤화 및 기술 지원
탄화규소 및 흑연 제품의 선도적인 제조업체인 VET Energy는 SiC, TaC, 유리질 탄소, 열분해 탄소 등 다양한 코팅을 사용한 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 당사의 숙련된 팀은 고객의 특정 용도에 맞는 전문적인 지침과 지원을 제공합니다.
닝보 VET 에너지 테크놀로지 주식회사는 최첨단 소재의 개발과 생산에 주력하는 첨단 기술 기업입니다. 이 소재와 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리가 포함됩니다. 이 제품들은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등에서 널리 사용됩니다.
당사의 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하기 위해 다수의 특허 기술을 개발하였으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.







