반도체 산업용 재결정 실리콘 카바이드 결정 보트

간단한 설명:

VET 에너지 재결정 탄화규소 결정 보트는 장기간 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 분야에 완벽한 솔루션입니다.


제품 상세 정보

제품 태그

재결정된 탄화규소의 특성

재결정 탄화규소(R-SiC)는 2000℃ 이상의 고온에서 형성되어 다이아몬드에 이어 두 번째로 높은 경도를 가진 고성능 소재입니다. 고온 강도, 강한 내식성, 우수한 산화방지제, 우수한 열충격 저항성 등 SiC의 여러 우수한 특성을 그대로 유지합니다.

● 우수한 기계적 특성. 재결정 탄화규소는 탄소 섬유보다 강도와 강성이 높고, 내충격성이 우수하며, 극한 온도 환경에서도 우수한 성능을 발휘하고 다양한 상황에서 더 나은 균형 성능을 발휘합니다. 또한, 유연성이 뛰어나고 신축 및 굽힘에 쉽게 손상되지 않아 성능이 크게 향상됩니다.

● 높은 내식성. 재결정된 탄화규소는 다양한 매체에 대한 높은 내식성을 가지고 있어 다양한 부식성 매체의 침식을 방지하고, 기계적 특성을 장기간 유지하며, 접착력이 강하여 사용 수명이 길어집니다. 또한, 열 안정성이 우수하여 특정 온도 변화에 적응할 수 있어 적용 효과를 향상시킵니다.

● 소결 시 수축이 발생하지 않습니다. 소결 과정에서 수축이 발생하지 않으므로 잔류 응력으로 인한 제품 변형이나 균열이 발생하지 않으며, 복잡한 형상과 고정밀도의 부품을 제작할 수 있습니다.

이미지_9497
이미지_9503

中结晶碳化硅물리특성

재결정된 탄화규소의 물리적 특성

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

사용온도/ 작동 온도(°C)

1600°C(산소 존재), 1700°C(환원 환경)

SiC/ SiC 함량

> 99.96%

자작Si含량/ 무료 Si 콘텐츠

< 0.1%

체감도/체적 밀도

2.60~2.70g/cm3

气孔率/ 겉보기 다공성

< 16%

抗压强도/ 압축 강도

> 600엠파

常温抗弯强degree/냉간 굽힘 강도

80~90MPa(20°C)

고온발효도열간 굽힘 강도

90-100MPa(1400°C)

热膨胀系数/ 열팽창 @1500°C

4.70 10-6/°C

导熭系数/열전도도 @1200°C

23와트/m•K

杨氏模량/ 탄성계수

240 GPa

抗熱震性/ 열충격 저항성

매우 좋음

VET 에너지는 CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품을 생산하는 진정한 제조업체로, 반도체 및 태양광 산업에 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다. 국내 유수의 연구 기관 출신으로 구성된 기술팀은 고객에게 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공합니다.

당사는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 첨단 공정을 개발하고 있으며, 코팅과 기질 사이의 결합을 더욱 단단하게 하고 분리 가능성을 낮추는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!

研发团队

 

生产设备

 

공사客户

 


  • 이전의:
  • 다음:

  • WhatsApp 온라인 채팅!