Matla a VETMotlakase oa MOCVD o koahetsoeng ka SiCke sehlahisoa se sebetsang hantle se entsoeng bakeng sa ts'ebetso e tsitsitseng le e tšepahalang lits'ebetsong tsa ts'ebetso ea wafer. E na le sehlahisoa se phahameng sa boleng.Sekoahelo sa SiC, e fana ka ho hanyetsa mocheso ka tsela e ikhethang, ho tšoana ha mocheso, le ho hanyetsa mafome. E loketse bakeng saLisebelisoa tsa MOCVD, senasusceptor e koahetsoeng ka silicon carbidee netefatsa hore e ntle ka ho fetisisasejana sa bohobekgolo le nako e telele ya bophelo ba disebediswa.
Likarolo tsa Sehlahisoa:
1. Khanyetso ea oxidation ea mocheso o phahameng ho fihlela ho 1700℃: Seaparo sa rona sa SiC se fana ka botsitso bo ikhethang ba mocheso, esita le libakeng tse thata ka ho fetisisa tsa MOCVD.
2. Bohloeki bo phahameng le ho tšoana ha mocheso: Sesebelisi sa silicon carbide se netefatsa litšila tse fokolang le ho futhumala ho sa khaotseng ho pholletsa le wafer, ho netefatsa boleng bo holimo ba kristale.
3. Khanyetso e ntle ea ts'enyeho: E hanela li-acid, li-alkali, letsoai le li-reagent tsa tlhaho, susceptor ea rona e boloka botsitso ba eona libakeng tse fapaneng tsa lik'hemik'hale.
4. Ho thatafala ho hoholo, bokaholimo bo teteaneng, le dikarolwana tse nyane: Thepa ena e tlatsetsa bophelong bo bolelele ba tšebeletso le ho tšoarella ho eketsehileng.
Melemo le Litšebeliso tsa Sehlahisoa sa rona se koahetsoeng ka CVD silicon carbide
Li-susceptor tsa MOCVD li fana ka melemo e meholo tlhahisong ea li-semiconductor. Seaparo sa SiC se ntlafatsa boleng ba wafer, se fokotsa liphoso, 'me se ntlafatsa katleho ea tlhahiso. VET Energy e fana ka mefuta e mengata ea lihlahisoa tsa silicon carbide tse etselitsoeng litlhoko tse ikhethileng tsa indasteri ea semiconductor le photovoltaic.
Ho Etsa Sehlahisoa ka Tsela e Ikhethileng le Tšehetso ea Tekheniki
Jwalo ka moetsi ya ka sehloohong wa dihlahiswa tsa silicon carbide le graphite, VET Energy e fana ka ditharollo tse ikgethileng ka dikobo tse fapaneng tse kang SiC, TaC, carbon e kang khalase, le pyrolytic carbon. Sehlopha sa rona se nang le boiphihlelo se ka fana ka tataiso le tshehetso ya ditsebi bakeng sa tshebediso ya hao e ikgethang.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ke kgwebo ya theknoloji e phahameng e shebaneng le ntshetsopele le tlhahiso ya thepa e tsoetseng pele ya maemo a hodimo, thepa le theknoloji ho kenyeletswa graphite, silicon carbide, ceramics, kalafo ya bokahodimo jwalo ka SiC coating, TaC coating, khalase carbon coating, pyrolytic carbon coating, jj., dihlahiswa tsena di sebediswa haholo ho photovoltaic, semiconductor, new eneji, metallurgy, jj.
Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, 'me se ntlafalitse mahlale a mangata a nang le patente ho netefatsa ts'ebetso le boleng ba sehlahisoa, se ka boela sa fa bareki litharollo tsa thepa ea profeshenale.
-
Moetsi oa Graphite e koahetsoeng ka TaC Upper Halfmoon
-
Sekoahelo sa wafer se nang le sekoahelo sa TaC bakeng sa G5 G10
-
Sesebediswa sa TaC se Koahetsweng bakeng sa Thepa ya Epitaxy
-
Lesale la Karolo le koahetsoeng ka Tantalum Carbide
-
Lesale la Tataiso ea ho Koahela TaC
-
Seaparo sa tantalum carbide se tšesaane haholo: Se ntlafatsa ...