VET Energy는 고성능 CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅 흑연 링의 연구 개발 및 생산에 주력하며, 반도체, 태양광 및 고온 산업을 위한 핵심 소모성 소재 솔루션을 제공하는 데 전념하고 있습니다. 당사가 자체 개발한 화학 기상 증착(CVD) 기술은 정밀 공정을 통해 흑연 기판 표면에 조밀하고 균일한 탄탈륨 카바이드 코팅을 형성하여 제품의 고온 저항성(>3000℃), 내식성 및 열충격 저항성을 크게 향상시키고, 수명을 3배 이상 연장하며, 고객의 종합적인 비용을 절감합니다.
당사의 기술적 강점:
1. 고온 산화 저항성
1200℃의 공기 분위기에서 산화 중량 증가율은 ≤0.05mg/cm²/h로, 일반 흑연의 산화 저항 수명보다 3배 이상 길며 고주파 가열-냉각 사이클 조건에 적합합니다.
2. 용융 실리콘/금속 부식에 대한 저항성
TaC 코팅은 액체 실리콘(1600℃), 용융 알루미늄/구리 등과 같은 금속에 대해 매우 불활성이므로 금속 침투로 인한 기존 가이드 링의 구조적 파손을 방지하며, 특히 전력 반도체 및 3세대 반도체 제조에 적합합니다.
3. 초저입자 오염
CVD 공정은 99.5% 이상의 코팅 밀도와 Ra≤0.2μm의 표면 조도를 달성하여 소스에서 입자가 떨어져 나갈 위험을 줄이고 12인치 웨이퍼 제조의 엄격한 청결 요구 사항을 충족합니다.
4. 정밀한 크기 조절
CNC 정밀 가공을 채택하여 흑연 기판의 크기 공차는 ±0.01mm이고 코팅 후 전체 변형은 <±5μm이므로 고정밀 장비 챔버에 설치하기에 적합합니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 타씨 코팅 | |
| 크기/ 밀도 | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 특정 방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 열팽창 계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도/ 경도(HK) | 2000 홍콩 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5 옴*cm |
| 발열결정성 열 안정성 | <2500℃ |
| 석재尺寸变化 / 흑연 크기 변화 | -10~-20μm |
| 涂层厚도 코팅 두께 | ≥30μm (일반적인 값, 35μm±10μm) |
닝보 VET 에너지 테크놀로지 유한회사는 고급 첨단 소재 개발 및 생산에 주력하는 하이테크 기업입니다. 당사의 소재 및 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리 기술이 포함되며, 이러한 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하는 다수의 특허 기술을 개발했으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션도 제공할 수 있습니다.
