ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜົງ SiC ຈະສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຜລຶກ SiC ດ່ຽວທີ່ປູກໂດຍວິທີການ PVT, ແລະ ວັດຖຸດິບສຳລັບການກະກຽມຜົງ SiC ແມ່ນຜົງ Si ທີ່ບໍລິສຸດສູງ ແລະ ຜົງ C ທີ່ບໍລິສຸດສູງ, ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜົງ C ຈະສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜົງ SiC.
ວັດຖຸດິບທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດໝຶກພິມມັກຈະປະກອບມີແກຣໄຟທ໌ເກັດ, ໂຄກປີໂຕຣລຽມ ແລະ ໝຶກຫີນຈຸລະພາກ. ຍິ່ງແກຣໄຟທ໌ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເທົ່າໃດ, ມູນຄ່າການນຳໃຊ້ກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ. ວິທີການກັ່ນຕອງແກຣໄຟທ໌ສາມາດແບ່ງອອກເປັນວິທີການທາງກາຍະພາບ ແລະ ວິທີການທາງເຄມີ. ວິທີການກັ່ນຕອງທາງກາຍະພາບປະກອບມີການລອຍຕົວ ແລະ ການກັ່ນຕອງດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ, ແລະ ວິທີການກັ່ນຕອງທາງເຄມີປະກອບມີວິທີການກົດ-ເບສ, ວິທີການກົດໄຮໂດຣຟລູອໍຣິກ ແລະ ວິທີການຄົ່ວຄລໍໄຣດ໌. ໃນນັ້ນ, ວິທີການກັ່ນຕອງອຸນຫະພູມສູງສາມາດໃຊ້ຈຸດລະລາຍສູງ (3773K) ແລະ ຈຸດເດືອດຂອງແກຣໄຟທ໌ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ 4N5 ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດສູງກວ່າ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການລະເຫີຍ ແລະ ການປ່ອຍສິ່ງເຈືອປົນທີ່ມີຈຸດເດືອດຕ່ຳ, ເພື່ອໃຫ້ບັນລຸຈຸດປະສົງຂອງການກັ່ນຕອງ [6]. ເຕັກໂນໂລຊີທີ່ສຳຄັນຂອງໝຶກພິມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນການກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນເລັກນ້ອຍ. ປະສົມປະສານກັບລັກສະນະຂອງການກັ່ນຕອງທາງເຄມີ ແລະ ການການກັ່ນຕອງດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ, ຂະບວນການກັ່ນຕອງຄວາມຮ້ອນທາງເຄມີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແບບປະສົມທີ່ແບ່ງອອກເປັນສ່ວນທີ່ເປັນເອກະລັກໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອບັນລຸການການກັ່ນຕອງວັດສະດຸໝຶກພິມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜະລິດຕະພັນສາມາດຫຼາຍກວ່າ 6N.
ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນລັກສະນະຂອງຜະລິດຕະພັນ:
1, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜະລິດຕະພັນ≥99.9999% (6N);
2, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຜົງຄາບອນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ລະດັບສູງຂອງການສ້າງກຣາຟ, ຄວາມບໍ່ບໍລິສຸດໜ້ອຍລົງ;
3, ຄວາມລະອຽດ ແລະ ປະເພດສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຜູ້ໃຊ້.
ການນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍຂອງຜະລິດຕະພັນ:
■ ການສັງເຄາະຜົງ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ວັດສະດຸຄາໄບສັງເຄາະໄລຍະແຂງອື່ນໆ
■ ປູກເພັດ
■ ວັດສະດຸນຳຄວາມຮ້ອນໃໝ່ສຳລັບຜະລິດຕະພັນເອເລັກໂຕຣນິກ
■ວັດສະດຸແຄໂທດແບັດເຕີຣີລິທຽມລະດັບສູງ
■ ທາດປະສົມໂລຫະທີ່ມີຄ່າຍັງເປັນວັດຖຸດິບ
